Dispositivo para producir un parche de una capa sobre un sustrato y medir el espesor del parche, y método para medir un espesor de un parche de una estructura de capa sobre un sustrato.

Dispositivo para producir un parche (2) de una estructura de capa sobre un sustrato (3) mediante la aplicación de un material sobre el sustrato (3) y la fusión del material dirigiendo un haz (4) de electrones de alta energía sobre el material,

y para medir un espesor (T) del parche (2), en particular un área funcional (102) de un elemento eléctrico (104), que comprende una fuente (8) de electrones para emitir un haz (4) de electrones, un dispositivo (9) de aceleración de electrones para acelerar los electrones en el haz (4) de electrones, un detector (5) para detectar una señal (6) procedente del parche (2) sometido al haz (4) de electrones, estando adaptado el dispositivo para mover el parche (2) y el haz (4) de electrones uno con respecto al otro, y comprendiendo el dispositivo un dispositivo (7) de análisis para determinar el espesor (T) del parche (2), estando adaptado el dispositivo para fundir el parche (2, 2A) con el haz (4) de electrones.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E15176161.

Solicitante: TE Connectivity Germany GmbH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: AMPERESTRASSE 12-14 64625 BENSHEIM ALEMANIA.

Inventor/es: SCHMIDT, HELGE, FRECKMANN,DOMINIQUE, SACHS,SÖNKE, REEDER,CRAIG, SARRAF,DAVID, PANOS,KONSTANTINOS, MYERS,MARJORIE, WEIER,EVA.

Fecha de Publicación: 5 de Febrero de 2020.

Clasificación Internacional de Patentes:

G01B15/02 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 15/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de radiación de ondas o partículas (G01B 9/00, G01B 11/00 tienen prioridad). › para la medida del espesor.
G01N23/225 G01 […] › G01N INVESTIGACION O ANALISIS DE MATERIALES POR DETERMINACION DE SUS PROPIEDADES QUIMICAS O FISICAS (procedimientos de medida, de investigación o de análisis diferentes de los ensayos inmunológicos, en los que intervienen enzimas o microorganismos C12M, C12Q). › G01N 23/00 Investigación o análisis de materiales mediante la utilización de radiaciones de ondas o partículas, p. ej. rayos X o neutrones, no cubiertos por los grupos G01N 3/00 - G01N 17/00, G01N 21/00 o G01N 22/00. › utilizando microsondas electrónicas o iónicas.
G01R31/305 G01 […] › G01R MEDIDA DE VARIABLES ELECTRICAS; MEDIDA DE VARIABLES MAGNETICAS (indicación de la sintonización de circuitos resonantes H03J 3/12). › G01R 31/00 Dispositivos para ensayo de propiedades eléctricas; Dispositivos para la localización de fallos eléctricos; Disposiciones para el ensayo eléctrico caracterizadas por lo que se está ensayando, no previstos en otro lugar (ensayo o medida de dispositivos semiconductores o de estado sólido, durante la fabricación H01L 21/66; ensayo de los sistemas de transmisión por líneas H04B 3/46). › utilizando haces electrónicos.
H01J37/26 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Microscopios electrónicos o iónicos; Tubos de difracción de electrones o de iones.

PDF original: ES-2779419_T3.pdf

Patentes similares o relacionadas:

Sistema y procedimiento para generar una distribución de densidad mejorada en modelos óseos tridimensionales, del 12 de Febrero de 2020, de Hologic Inc: Un procedimiento de generación de un modelo de densidad mejorada de un objeto que comprende las etapas de: generar un modelo personalizado […]

Método para la medición y adaptación del espesor de pared de un tubo, del 15 de Mayo de 2019, de Tiroler Rohre GmbH: Método para la medición y adaptación del espesor de pared (W) de un tubo fabricado mediante un método de colada centrífuga durante una producción […]

Procedimiento y dispositivo de medición continua del espesor de una capa de material de revestimiento sobre una banda en movimiento, del 21 de Febrero de 2018, de Arcelormittal: Procedimiento de medición continua del espesor de una capa de material de revestimiento sobre una banda en movimiento según la cual se mide, utilizando un sensor […]

Aparato móvil capaz de medidas superficiales del espesor de un revestimiento, del 14 de Febrero de 2018, de SENSORY ANALYTICS: Un aparato móvil para medir el espesor de un revestimiento sobre una superficie de un substrato que comprende: un monitor de espesor […]

Sistemas, métodos y aparatos para la inspección sin interrupción y sin destrucción de hornos metalúrgicos y recipientes similares, del 10 de Mayo de 2017, de Hatch LTD: Un aparato para inspeccionar una pared de horno metalúrgico que comprende: una pluralidad de pares (73a-73d) de generador-sensor de onda […]

Máquina de fabricación de papel, del 19 de Noviembre de 2014, de S.A. GIUSEPPE CRISTINI S.P.A: Una máquina de fabricación de papel que comprende: una tela formadora que gira en un bucle a lo largo de un trayecto (P) y es adecuada […]

Cosechadora de sal, del 20 de Octubre de 2014, de CIA ESPAÑOLA DE INVESTIGACIÓN Y FOMENTO MINERO, S.A: Cosechadora de sal para la extracción de sal gobernada a partir de la determinación del espesor del estrato de sal acumulado en superficie. El sistema se caracteriza […]

GEOMETRÍA DE FORMACIÓN DE IMÁGENES, del 30 de Diciembre de 2011, de ACCURAY, INC: Un sistema de tratamiento por radiación , que comprende: un sistema de formación de imágenes estereoscópicas configurado para establecer un primer centro de formación […]