(16/07/2004) LA INVENCION SE REFIERE A UNA LENTE TRIODICA ELECTROSTATICA CON DESTINO A UN SISTEMA DE IMPLANTACION IONICO . LA LENTE INCLUYE UN ELECTRODO TERMINAL Y UN SUBCONJUNTO DE LENTES AJUSTABLES QUE COMPRENDE UN ELECTRODO SUPRESOR Y UN ELECTRODO RESOLVEDOR , CADA UNO DE LOS CUALES TIENE SUPERFICIES CURVAS EMPAREJADAS . EL SUBCONJUNTO DE LENTES SE POSICIONA CERCA DEL ELECTRODO TERMINAL DONDE EL HAZ TIENE UN ESPESOR CENTRAL MINIMO EN UN PRIMER PLANO (DISPERSIVO). ESTE POSICIONAMIENTO MINIMIZA LAS HOLGURAS NECESARIAS ENTRE ELECTRODOS Y CONTRIBUYE ASI A MINIMIZAR LA INTENSIFICACION DEL HAZ Y LA ZONA DE AGOTAMIENTO DE ELECTRONES EN EL MODO DE OPERACION DE DECELERACION. LOS ELECTRODOS DE SUPRESION Y RESOLUCION TIENEN CADA UNO DE ELLOS UNAS PARTES PRIMERA Y SEGUNDA (38A Y 38B, 39A Y 39B) SEPARADAS POR UNA HOLGURA (D38,…

(16/11/2000) Microscopio electrónico de barrido de baja energía y grabador por haz electrónica basados en una microlente plana integrada. El invento presentado es un dispositivo ultracompacto para realizar microscopía electrónica de baja energía (300eV) y litografía por múltiples haces electrónicos en la escala por debajo de 100nm. El dispositivo de dimensiones 1 x 1 x 0,05 cm {sup,3 consta de dos membranas finas con aberturas microscópicas para la focalización del haz electrónico mediante la aplicación de potenciales eléctricos, y de un deflector quadrupolar coplanario . El procedimiento de fabricación de microlente integrada se realiza en un único sustrato,…