MICROSCOPIO ELECTRONICO DE BARRIDO DE BAJA ENERGIA Y GRABADOR POR HAZ ELECTRONICO BASADOS EN UNA MICROLENTE PLANA INTEGRADA.
Microscopio electrónico de barrido de baja energía y grabador por haz electrónica basados en una microlente plana integrada.
El invento presentado es un dispositivo ultracompacto para realizar microscopía electrónica de baja energía (300eV) y litografía por múltiples haces electrónicos en la escala por debajo de 100nm. El dispositivo de dimensiones 1 x 1 x 0,05 cm {sup,3 consta de dos membranas finas (1) con aberturas microscópicas (2) para la focalización del haz electrónico mediante la aplicación de potenciales eléctricos, y de un deflector quadrupolar coplanario (3). El procedimiento de fabricación de microlente integrada se realiza en un único sustrato, por técnicas microelectrónicas convencionales. Esto permite integrar múltiples microlentes en una matriz (multicolumna) para realizar una litografía por haces electrónicos múltiples. El invento puede ser usado como compacto microscopio de barrido de baja energía con una resolución mejor de 30 nm, y como un instrumento de litografía por múltiples haces electrónicos en el rango de sub-100 nm como alternativa a litografía óptica.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: FISINTEC, S.L.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: MADRID.
Inventor/es: GARCIA GARCIA,NICOLAS, ZLATKINE,ALEXANDRE.
Fecha de Solicitud: 23 de Enero de 1998.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 27 de Septiembre de 2000.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/12 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › electrostáticas.
- H01J37/28 H01J 37/00 […] › con haces de barrido.
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