DISPOSITIVO DE TRATAMIENTO EN VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS.

(16/05/2002) LA INVENCION TRATA DE UN DISPOSITIVO DE TRATAMIENTO AL VACIO PARA APLICAR CAPAS FINAS SOBRE SUSTRATOS (36 A 38), CON VARIAS CAMARAS DE TRATAMIENTO (DE 8 A 11) FIJAS EN SU SITIO, SUJETAS POR LA PARED LATERAL EN FORMA DE ANILLO O BASTIDOR DE LA CAMARA DE VACIO , CON UNAS ABERTURAS DE LA CAMARA DE TRATAMIENTO (DE 4 A 7) QUE SE EXTIENDEN PERIFERICAMENTE HACIA ADENTRO, HACIA EL CENTRO DE LA CAMARA DE VACIO , EN PLANOS PARALELOS UNO CON RESPECTO AL OTRO. EN UN DISPOSITIVO DE ESTE TIPO HAY PREVISTO UN ARBOL ALOJADO EN LA TAPA DE LA CAMARA DE VACIO Y/O EN LA PLACA DE BASE DE LA CAMARA DE VACIO DE LA CAMARA DE VACIO Y QUE SE EXTIENDE EN PARALELO A LOS PLANOS DE LAS ABERTURAS; EL ARBOL MUEVE LAS PLACAS (23 A 26) PARA CERRAR LAS ABERTURAS DE LA CAMARA…