LENTES ELECTROSTATICA DE ACELERACION Y DESACELERACION PARA EL ENFOQUE VARIABLE Y LA RESOLUCION DE MASA DE UN HAZ DE UN IMPLANTADOR DE IONES.
LA INVENCION SE REFIERE A UNA LENTE TRIODICA ELECTROSTATICA (36) CON DESTINO A UN SISTEMA DE IMPLANTACION IONICO (10).
LA LENTE INCLUYE UN ELECTRODO TERMINAL (37) Y UN SUBCONJUNTO DE LENTES AJUSTABLES (40) QUE COMPRENDE UN ELECTRODO SUPRESOR (38) Y UN ELECTRODO RESOLVEDOR (39), CADA UNO DE LOS CUALES TIENE SUPERFICIES CURVAS EMPAREJADAS (108, 110). EL SUBCONJUNTO DE LENTES SE POSICIONA CERCA DEL ELECTRODO TERMINAL DONDE EL HAZ TIENE UN ESPESOR CENTRAL MINIMO EN UN PRIMER PLANO (DISPERSIVO). ESTE POSICIONAMIENTO MINIMIZA LAS HOLGURAS NECESARIAS ENTRE ELECTRODOS Y CONTRIBUYE ASI A MINIMIZAR LA INTENSIFICACION DEL HAZ Y LA ZONA DE AGOTAMIENTO DE ELECTRONES EN EL MODO DE OPERACION DE DECELERACION. LOS ELECTRODOS DE SUPRESION Y RESOLUCION TIENEN CADA UNO DE ELLOS UNAS PARTES PRIMERA Y SEGUNDA (38A Y 38B, 39A Y 39B) SEPARADAS POR UNA HOLGURA (D38, D39). UN MECANISMO DE MOVIMIENTO (60, 62) MUEVE SIMULTANEAMENTE LAS PRIMERAS PARTES DE LOS ELECTRODOS DE SUPRESION Y RESOLUCION (38A, 39A) EN APROXIMACION Y SEPARACION DE LAS SEGUNDAS PARTES DE LOS ELECTRODOS DE SUPRESION Y RESOLUCION (38B, 39B) RESPECTIVAMENTE, PARA AJUSTAR LAS HOLGURAS (D38, D39) ENTRE ELLOS. EL SUBCONJUNTO DE LENTES AJUSTABLES (40) CONDICIONA EL HAZ EMITIDO POR MEDIO DEL ELECTRODO TERMINAL (37) (I) REALIZANDO UN ENFOQUE VARIABLE DEL HAZ EN PLANOS MUTUAMENTE ORTOGONALES (DISPERSIVOS Y NO DISPERSIVOS) EN UN MODO DE OPERACION DE DECELERACION (DONDE LA RESOLUCION DE MASAS ES MENOS CRITICA), MIENTRAS (II) PERMITE LA RESOLUCION DE MASAS VARIABLE EN EL PLANO DISPERSIVO EN UN MODO DE OPERACION DE ACELERACION. EN EL MODO DE OPERACION DE DECELERACION, EL AJUSTE DE LA HOLGURA (D39) PERMITE EL ENFOQUE EN UN PLANO DISPERSIVO AJUSTABLE, MIENTRAS SE AJUSTA EL VOLTAJE EN EL ELECTRODO SUPRESOR (38) PARA PODER REALIZAR EL ENFOQUE DEL HAZ EN UN PLANO NO DISPERSIVO AJUSTABLE.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE,CLEVELAND, OHIO 44114-2584.
Inventor/es: BENVENISTE, VICTOR MAURICE, KELLERMAN, PETER LAWRENCE.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 14 de Enero de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/12 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › electrostáticas.
- H01J37/317 H01J 37/00 […] › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).
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