Películas finas preparadas con una técnica de deposición en fase gaseosa.

Proceso para la preparación de una película fina de una naturaleza orgánica-inorgánica en un sustrato mediante una técnica de deposición en fase gaseosa producida por ALCVD,

caracterizado por comprender las siguientes etapas:

a) - poner en contacto el sustrato con un pulso de un precursor inorgánico seleccionado de un grupo que consiste en alquilos metálicos y halogenuros metálicos donde el metal se selecciona del grupo que consiste en Al, Si, Sn, Zn, Mg, Ti, Zr, V, Mn, Fe, Co, Cr, y Pt;

b) - hacer reaccionar el precursor inorgánico con al menos una superficie del sustrato;

c) - eliminar el precursor inorgánico sin reaccionar y subproductos de reacción si hay alguno;

d) - poner en contacto la superficie de dicho sustrato con un pulso de un precursor orgánico; donde el precursor orgánico es un compuesto orgánicos sustituido con 2-6 sustituyentes seleccionados del grupo que consiste en -OH, -COOH, -SH, -NH2, -SO4H, -SO3H, -PO4H, y -NH3I, donde el compuesto orgánico se selecciona entre alcanos de cadena lineal o ramificada, cicloalcanos, alquenos, grupos aromáticos monoy policíclicos, grupos aromáticos heterocíclicos, donde el compuesto orgánico opcionalmente puede comprender otros sustituyentes que los al menos dos sustituyentes reactivos, y donde el precursor orgánico se puede llevar a fase gaseosa;

e) - hacer reaccionar el precursor orgánico con el compuesto inorgánico unido al sustrato para formar una capa híbrida orgánica inorgánica;

f) - eliminar el precursor orgánico sin reaccionar y subproductos de reacción si hay alguno;

g) - repetir las etapas a) a f) hasta que se alcanza el espesor de película deseado.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/NO2005/000488.

Solicitante: UNIVERSITETET I OSLO.

Nacionalidad solicitante: Noruega.

Dirección: BOKS 1072 BLINDERN 0316 OSLO NORUEGA.

Inventor/es: NILSEN,OLA, FJELLVÅG,HELMER.

Fecha de Publicación: 12 de Noviembre de 2019.

Clasificación Internacional de Patentes:

B05D1/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B05 PULVERIZACION O ATOMIZACION EN GENERAL; APLICACION DE MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL. › B05D PROCEDIMIENTOS PARA APLICAR MATERIALES FLUIDOS A SUPERFICIES, EN GENERAL (transporte de objetos en los baños de líquidos B65G, p. ej.. B65G 49/02). › Procedimientos para aplicar líquidos u otras materias fluidas a las superficies (B05D 5/00, B05D 7/00 tienen prioridad).
B05D1/18 B05D […] › B05D 1/00 Procedimientos para aplicar líquidos u otras materias fluidas a las superficies (B05D 5/00, B05D 7/00 tienen prioridad). › por inmersión.
B05D1/36 B05D 1/00 […] › Aplicaciones sucesivas de líquidos u otros materiales fluidos, p. ej. sin tratamientos intermedios.
B05D5/00 B05D […] › Procedimientos para aplicar líquidos u otros materiales fluidos a las superficies para obtener efectos, acabados o estructuras de superficie particulares.
B05D7/00 B05D […] › Procedimientos, distintos al "flocage", especialmente adaptados para aplicar líquidos u otros materiales fluidos, a superficies especiales, o para aplicar líquidos u otros materiales fluidos, particulares.
B05D7/24 B05D […] › B05D 7/00 Procedimientos, distintos al "flocage", especialmente adaptados para aplicar líquidos u otros materiales fluidos, a superficies especiales, o para aplicar líquidos u otros materiales fluidos, particulares. › para aplicar líquidos u otros materiales fluidos particulares.
C23C16/30 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Deposición de compuestos, de mezclas o de soluciones sólidas, p. ej. boruros, carburos, nitruros.
C23C16/455 C23C 16/00 […] › caracterizado por el proceso utilizado para introducir gases en la cámara de reacción o para modificar las corrientes de gas en la cámara de reacción.
C30B25/02 C […] › C30 CRECIMIENTO DE CRISTALES. › C30B CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión, p. ej. para la formación de diamantes B01J 3/06 ); SOLIDIFICACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTICOS O SEPARACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTOIDES; AFINAMIENTO DE MATERIALES POR FUSION DE ZONA (afinamiento por fusión de zona de metales o aleaciones C22B ); PRODUCCION DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (colada de metales, colada de otras sustancias por los mismos procedimientos o aparatos B22D; trabajo de materias plásticas B29; modificación de la estructura física de metales o aleaciones C21D, C22F ); MONOCRISTALES O MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA; TRATAMIENTO POSTERIOR DE MONOCRISTALES O DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (para la fabricación de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas H01L ); APARATOS PARA ESTOS EFECTOS. › C30B 25/00 Crecimiento de monocristales por reacción química de gases reactivos, p. ej. crecimiento por depósito químico en fase vapor. › Crecimiento de un lecho epitaxial.
C30B29/10 C30B […] › C30B 29/00 Monocristales o materiales policristalinos homogéneos de estructura determinada caracterizados por los materiales o por su forma. › Compuestos inorgánicos o composiciones inorgánicas.
C30B29/54 C30B 29/00 […] › Compuestos orgánicos.

PDF original: ES-2730832_T3.pdf

Patentes similares o relacionadas:

Sustratos autolimpiables y métodos para su fabricación, del 15 de Julio de 2020, de Arconic Technologies LLC: Un método para proporcionar un producto autolimpiable, comprendiendo el método: (a) primero, producir un producto primero que tiene un brillo predeterminado, comprendiendo […]

Procedimiento de pintura e instalación de pintura para pintar una decoración, del 24 de Junio de 2020, de Dürr Systems AG: Procedimiento de pintura para pintar un componente con una decoración , en particular para pintar un componente de carrocería de vehículo automóvil, […]

Procedimiento de formación de película multicapa y artículo revestido, del 27 de Mayo de 2020, de KANSAI PAINT CO., LTD.: Un procedimiento de formación de una película de revestimiento multicapa que comprende las siguientes etapas 1-1 a 1-4: etapa 1-1: una etapa […]

Panel con capa decorativa así como procedimiento para la impresión de placas, del 29 de Abril de 2020, de Xylo Technologies AG: Panel , en particular panel de pared, cubierta o suelos, que comprende una placa soporte , placa soporte que está provista al menos sobre […]

Uso de complejos de polielectrolitos para la producción de películas poliméricas con propiedades de barrera al oxígeno, del 15 de Abril de 2020, de BASF SE: Uso de al menos un complejo de polielectrolitos para conferir a los materiales de empaque fabricados con películas poliméricas una barrera […]

Tratamiento con aminoalcohol para revestimientos de conversión sol-gel, sustratos que incluyen los mismos y métodos para preparar los sustratos, del 8 de Abril de 2020, de PRC-DESOTO INTERNATIONAL, INC.: Un artículo, que comprende: un sustrato; un revestimiento de conversión sol-gel sobre al menos una parte del sustrato; una capa de […]

Polvo de óxido metálico recubierto autodispersable y proceso para la producción y uso, del 1 de Abril de 2020, de KOBO PRODUCTS INC.: Una composición que comprende: un sustrato que comprende partículas de óxido metálico, teniendo el sustrato un recubrimiento sobre el mismo que incluye un […]

Procedimiento de pintado, del 1 de Abril de 2020, de DURR SYSTEMS GMBH: Procedimiento de pintado para pintar un componente , concretamente una carrocería de un vehículo de motor , con las etapas siguientes: […]