Formación de una estructura que comprende litio sobre un sustrato por ALD.

Un método para la formación de una capa que comprende Li sobre un substrato mediante deposición de capa atómica que comprende las siguientes etapas:



a) proporcionar un substrato en una cámara de reacción en la que dicha cámara de reacción se dispone para reacciones de gas a superficie,

b) pulsar un precursor de litio a través de dicha cámara de reacción,

c) hacer reaccionar dicho precursor de litio con por lo menos una superficie de dicho sustrato,

d) purgar dicha cámara de reacción

d1) al enviar un gas de purga a través de dicha cámara de reacción para purgar la cámara de reacción o d2) al evacuar dicha cámara, y

e) repetir las etapas b) a d) un número de veces deseado en orden para la formación de una capa de película delgada de un material que comprende litio sobre dicho por lo menos una superficie de dicho sustrato, en el que el precursor de litio se selecciona de entre litio 2,2,6,6-tetrametilheptano-3,5-dionato, alcóxido de litio, alquilos de litio, compuestos de litio cíclicos, diciclohexamida de litio y compuestos bimetálicos o multimetálicos.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/NO2008/000468.

Solicitante: UNIVERSITETET I OSLO.

Nacionalidad solicitante: Noruega.

Dirección: BOKS 1072 BLINDERN 0316 OSLO NORUEGA.

Inventor/es: NILSEN,OLA, FJELLVÅG,HELMER, ALNES,MARI ENDRESEN, AALTONEN,TITTA, PUTKONEN,MATTI.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C16/40 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Oxidos.
  • C23C16/455 C23C 16/00 […] › caracterizado por el proceso utilizado para introducir gases en la cámara de reacción o para modificar las corrientes de gas en la cámara a reacción.
  • H01M10/04 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01M PROCEDIMIENTOS O MEDIOS, p. ej., BATERIAS, PARA LA CONVERSION DIRECTA DE LA ENERGIA QUIMICA EN ENERGIA ELECTRICA. › H01M 10/00 Celdas secundarias; Su fabricación. › Construcción o fabricación en general (H01M 10/058, H01M 10/12, H01M 10/28, H01M 10/38 tienen prioridad).
  • H01M10/0562 H01M 10/00 […] › Materiales sólidos.
  • H01M4/04 H01M […] › H01M 4/00 Electrodos. › Procesos de fabricación en general.
  • H01M6/18 H01M […] › H01M 6/00 Celdas primarias; Su fabricación. › con electrolito sólido.
  • H01M6/40 H01M 6/00 […] › Baterías impresas.

PDF original: ES-2638614_T3.pdf

 

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