Método de formación de estructuras periódicas en láminas finas utilizando haces láser interferentes.

Método para la formación de estructuras periódicas en una película de material delgado (15) por haces de interferencia de laser pulsado,

en el que la película delgada (15) se coloca sobre un sustrato (16) que tiene diferentes propiedades ópticas que la película delgada, comprendiendo el método:

- dirigir una pluralidad de haces láser pulsados dentro de la película delgada (15), por lo que los haces láser pulsados son haces láser de picosegundos que se intersectan de tal manera que producen a través de la interferencia una distribución periódica de la intensidad del rayo láser, que puede variar dependiendo de la elección de los parámetros de control apropiados incluyendo el número de haces láser interferentes y / o una diferencia de fase entre los haces láser de interferencia y / o la intensidad de cada rayo láser interferente, de acuerdo con la estructura periódica que se va a formar,

- ablación del material de la película fina en las zonas de alta intensidad de la distribución de intensidad del rayo láser, mientras que el material restante forma la estructura periódica que corresponde a la disposición de las zonas de baja intensidad, caracterizado porque la elección de los parámetros de control apropiados se realiza simultáneamente con un ajuste de la intensidad global de los haces láser interferentes de tal manera que la intensidad de umbral Ith para la evaporación de la película delgada sobre todo su espesor es de aproximadamente 1,5 por ciento hasta 50 por ciento de la intensidad I0 al máximo de la zona de alta intensidad de la distribución de la intensidad del rayo láser, asegurando la evaporación de la película delgada.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E11160615.

Solicitante: Valstybinis moksliniu tyrimu institutas Fiziniu ir technologijos mokslu centras.

Nacionalidad solicitante: Lituania.

Dirección: Savanoriu Avenue 231 02300 Vilnius LITUANIA.

Inventor/es: RACIUKAITIS,GEDIMINAS, GEDVILAS,MINDAUGAS, VOISIAT,BOGDAN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B23K26/06 SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B23 MAQUINAS-HERRAMIENTAS; TRABAJO DE METALES NO PREVISTO EN OTRO LUGAR.B23K SOLDADURA SIN FUSION O DESOLDEO; SOLDADURA; REVESTIMIENTO O CHAPADO POR SOLDADURA O SOLDADURA SIN FUSION; CORTE POR CALENTAMIENTO LOCALIZADO, p. ej. CORTE CON SOPLETE; TRABAJO POR RAYOS LASER (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión de metales B21C 23/22; realización de guarniciones o recubrimientos por moldeo B22D 19/08; moldeo por inmersión B22D 23/04; fabricación de capas compuestas por sinterización de polvos metálicos B22F 7/00; disposiciones sobre las máquinas para copiar o controlar B23Q; recubrimiento de metales o recubrimiento de materiales con metales, no previsto en otro lugar C23C; quemadores F23D). › B23K 26/00 Trabajo por rayos láser, p. ej. soldadura, corte o taladrado. › Determinación de la configuración del haz de rayos, p. ej. con ayuda de máscaras o de focos múltiples.
  • B23K26/067 B23K 26/00 […] › Separando el haz de rayos en múltiples rayos, p.ej. focos múltiples.
  • B82Y40/00 B […] › B82 NANOTECNOLOGIA.B82Y USOS O APLICACIONES ESPECIFICOS DE NANOESTRUCTURAS; MEDIDA O ANALISIS DE NANOESTRUCTURAS; FABRICACION O TRATAMIENTO DE NANOESTRUCTURAS.Fabricación o tratamiento de nanoestructuras.

PDF original: ES-2637475_T3.pdf

 

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