Electrodo maestro ECPR y un procedimiento para proporcionar dicho electrodo maestro.

Procedimiento para proporcionar un electrodo maestro ECPR, que comprende la etapa en la que:



se proporciona un elemento portador circular (101) con una superficie de electrodo conductora de la electricidad (106) en una cara posterior (104) y un patrón topográfico (107) que define una pluralidad de celdas electroquímicas (109) en el elemento portador sobre una cara anterior del mismo (105), comprendiendo cada celda electroquímica una pared lateral (112) y un fondo (111), en el que la superficie plana que se extiende entre dos celdas electroquímicas (109) contiguas está cubierta por una capa aislante de la electricidad (110) y en el que el fondo (111) posee una superficie conductora de la electricidad (113) conectada conductivamente con la superficie de electrodo conductora de la electricidad (106) situada en la cara posterior a través del elemento portador, en el que la etapa en la que se proporciona dicho patrón topográfico comprende las operaciones en las que:

- se pasiva una parte periférica de la cara anterior del elemento portador para formar una región de aislamiento, con dicha región de aislamiento (140) rodeando una zona de dispositivo circular;

- se proporciona una máscara dura dieléctrica con un patrón (330) a lo largo de dicha zona de dispositivo y dicha zona de aislamiento; y

- se graba el elemento portador de manera que se formen dichas celdas electroquímicas en la zona de dispositivo, en la que la pasivación de la región de aislamiento impide aún más la formación de celdas electroquímicas mediante grabado en dicha región de aislamiento.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E12171200.

Solicitante: Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST).

Inventor/es: CUTHBERTSON, ALAN, MÖLLER,PATRIK, FREDENBERG,MIKAEL, CHANTELAUZE,SIMON, DAINESE,MATTEO, KENNEDY,TIM, LAVIRON,CYRILLE.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C25D17/00 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C25 PROCESOS ELECTROLITICOS O ELECTROFORETICOS; SUS APARATOS.C25D PROCESOS PARA LA PRODUCCION ELECTROLITICA O ELECTROFORETICA DE REVESTIMIENTOS; GALVANOPLASTIA (fabricación de circuitos impresos por deposición metálica H05K 3/18 ); UNION DE PIEZAS POR ELECTROLISIS; SUS APARATOS (protección anódica o catódica C23F 13/00; crecimiento de monocristales C30B). › Elementos estructurales, o sus ensambles, de células para revestimiento electrolítico.
  • H01L21/288 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctrica en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › a partir de un líquido, p. ej. depósito electrolítico.

PDF original: ES-2624739_T3.pdf

 

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