Ánodo para revestimiento por pulverización.

Un dispositivo de pulverización para usarlo en la pulverización de un material,

que comprende un ánodo y una cámara de revestimiento que contiene un cátodo y un sustrato que debe ser revestido con el material de pulverización,

caracterizado por que el ánodo (10) define un recipiente que tiene un cuerpo interior (12) eléctricamente conductor, un cuerpo exterior, una cavidad anódica dentro del cuerpo interior eléctricamente conductor y una apertura (14) en un extremo del cuerpo interior eléctricamente conductor para comunicar con la cámara de revestimiento para permitir que las partículas cargadas fluyan entre el cuerpo interior eléctricamente conductor y el cátodo en la cámara de revestimiento, y

en el que el cuerpo interior eléctricamente conductor está acoplado a una fuente de voltaje para proporcionar una diferencia de voltaje entre el material de pulverización y el cuerpo interior conductor; y

en el que la apertura es esencialmente menor que una circunferencia del recipiente y tiene el tamaño para impedir esencialmente que el material de revestimiento se deposite en el recipiente.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E05254602.

Solicitante: Viavi Solutions Inc.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 430 N. MCCARTHY BOULEVARD MILPITAS, CA 95035 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.

Inventor/es: OCKENFUSS,GEORG J, TILSCH,MARKUS K, SEDDON,RICHARD I, HAHN,ROBERT E.

Fecha de Publicación: 29 de Marzo de 2017.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
C23C14/35 C23C 14/00 […] › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2626641_T3.pdf

Patentes similares o relacionadas:

Diana de pulverización catódica basada en óxido de circonio, del 15 de Abril de 2020, de Materion Advanced Materials Germany GmbH: Diana de pulverización catódica, que comprende un óxido de circonio como material de pulverización catódica, en la que el óxido de circonio representa, como mínimo, el 75 % […]

Sustrato que lleva un recubrimiento funcional y una capa de protección temporal, del 1 de Abril de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Artículo que comprende un sustrato que comprende dos caras principales que definen dos superficies principales separadas por bordes, llevando dicho sustrato: - un recubrimiento […]

Paneles de baja emisividad con una capa dieléctrica de óxido metálico ternario y método para formar los mismos, del 4 de Diciembre de 2019, de Guardian Glass, LLC: Un método para formar un panel de baja emisividad que comprende: proporcionar un sustrato transparente; formar una capa de oxinitruro metálico sobre […]

Procedimiento de revestimiento de un substrato, instalación de aplicación del procedimiento y dispositivo metálico de alimentación de tal instalación, del 12 de Noviembre de 2019, de Arcelormittal: Procedimiento de revestimiento de al menos una cara de un substrato en deslizamiento, por evaporación en vacío mediante plasma de una capa metálica […]

Herramienta de corte con capa de detección de desgaste, del 5 de Noviembre de 2019, de WALTER AG: Herramienta, compuesta por - un cuerpo de sustrato de metal duro, cermet, cerámica, acero o acero de corte rápido, - un revestimiento […]

Artículo recubierto con capa(s) reflectora(s) de IR y método para su producción, del 21 de Agosto de 2019, de Guardian Glass, LLC: Un artículo recubierto que incluye un recubrimiento soportado por un sustrato de vidrio, comprendiendo el recubrimiento: una capa que comprende óxido […]

Método para la deposición de capas funcionales adecuadas para tubos receptores de calor, del 7 de Agosto de 2019, de Rioglass Solar Systems Ltd: Método para la deposición de al menos una capa funcional adecuada para un recubrimiento multicapa selectivo frente a la radiación solar, comprendiendo dicho método: a) proporcionar […]

Conjuntos de metalizador en línea y sistemas de transportador de recubrimiento de piezas que incorporan los mismos, del 24 de Julio de 2019, de Marca Machinery LLC: Un conjunto de metalizador en línea que comprende: una pluralidad de portapiezas , cada uno adaptado para contener una pluralidad […]