Sistema de ajuste para alinear elementos ópticos o muestras en vacío.
Sistema de ajuste para alinear elementos ópticos y muestras al vacío (3) para proyectar radiación óptica o electromagnética,
que consiste en
- al menos una cámara (3") de vacío,
- al menos un espejo (3') ajustable en la dirección espacial, y/o de
- al menos un elemento óptico ajustable en la dirección espacial, y/o de
- al menos una muestra ajustable en dirección espacial,
donde en el estado no desviado (estado inactivo) se proporcionan accionadores (X1, X2, Z1, Y, Z2, Z3) traslacionales para ajustar la alineación de al menos un espejo (3') ajustable en la dirección espacial y/o de al menos un elemento óptico ajustable en la dirección espacial o de al menos una muestra ajustable en la dirección espacial en un máximo de tres direcciones (X, Y, Z) espaciales esencialmente mutuamente perpendiculares,
caracterizado porque
al menos un espejo (3') ajustable en la dirección espacial (X, Y, Z, x, y, z) y/o el al menos un elemento óptico ajustable en la dirección espacial (X, Y, Z, x, y, z) y/o la muestra dentro de la cámara (3") de vacío está montada en una posición fija en relación con la cámara (3") de vacío,
con la cámara de vacío (3") conectada directa o indirectamente con accionadores (X1, X2, Z1, Z2, Z3) traslacionales para alinear la posición espacial del espejo (3') y/o el elemento óptico o la muestra, con lo cual los accionadores traslacionales para los tres grados de libertad traslacionales no actúan sobre el objeto a ajustar de tal forma que los tres formen un punto de intersección conjunto, pero se establece que
los accionadores (X1, X2, Z1, Z2) actúan en las esquinas de un ortoedro imaginario, cuyo volumen retiene el espejo (3') y/o el elemento óptico y/o la muestra a ajustar, aunque encerrado en la cámara de vacío (3"), con lo cual para cambiar la orientación espacial del espejo (3'), el elemento óptico y/o la muestra en relación con la radiación electromagnética, estos se alinean junto con toda la cámara de vacío, por lo que los accionadores (X1, X2, Z1, Z2) actúan desde el exterior en la cámara de vacío.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/IB2014/001905.
Solicitante: FMB Feinwerk- und Messtechnik GmbH.
Inventor/es: DEIWIKS,JOCHEN, MÜLLER,FRIEDER, HENNINGER,HANS.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- B25J9/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B25 HERRAMIENTAS MANUALES; HERRAMIENTAS DE MOTOR PORTATILES; MANGOS PARA UTENSILIOS MANUALES; UTILLAJE DE TALLER; MANIPULADORES. › B25J MANIPULADORES; RECINTOS CON DISPOSITIVOS DE MANIPULACION INTEGRADOS (dispositivos robóticos para recolección individual de frutas, hortalizas, lúpulo y similares A01D 46/30; manipuladores de agujas para cirugía A61B 17/062; manipuladores asociados a las laminadoras B21B 39/20; manipuladores asociados a las máquinas de forja B21J 13/10; medios para mantener las ruedas o sus elementos B60B 30/00; grúas B66C; disposiciones para la manipulación del combustible o de otros materiales utilizados en el interior de reactores nucleares G21C 19/00; combinación estructural de manipuladores con celdas o recintos protegidos contra la radiación G21F 7/06). › Manipuladores de control programado.
- G02B7/00 FISICA. › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › Monturas, medios de regulación o uniones estancas a la luz para elementos ópticos.
- G02B7/24 G02B […] › G02B 7/00 Monturas, medios de regulación o uniones estancas a la luz para elementos ópticos. › Conexiones montadas sobre pivotes.
- G03F7/20 G […] › G03 FOTOGRAFIA; CINEMATOGRAFIA; TECNICAS ANALOGAS QUE UTILIZAN ONDAS DISTINTAS DE LAS ONDAS OPTICAS; ELECTROGRAFIA; HOLOGRAFIA. › G03F PRODUCCION POR VIA FOTOMECANICA DE SUPERFICIES TEXTURADAS, p. ej. PARA LA IMPRESION, PARA EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; MATERIALES A ESTE EFECTO; ORIGINALES A ESTE EFECTO; APARELLAJE ESPECIALMENTE ADAPTADO A ESTE EFECTO (aparatos de composición fototipográfica B41B; materiales fotosensibles o procesos para la fotografía G03C; electrofotografía, capas sensibles o procesos a este efecto G03G). › G03F 7/00 Producción por vía fotomecánica, p. ej. fotolitográfica, de superficies texturadas, p. ej. superficies impresas; Materiales a este efecto, p. ej. conllevando fotorreservas; Aparellaje especialmente adaptado a este efecto (utilizando estructuras de fotorreservas para procesos de producción particulares, ver en los lugares adecuados, p. ej. B44C, H01L, p. ej. H01L 21/00, H05K). › Exposición; Aparellaje a este efecto (dispositivos de reproducción fotográfica de copias G03B 27/00).
PDF original: ES-2653554_T3.pdf
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