Bloque de extremo para diana giratoria con conexión eléctrica entre colector y rotor a presión inferior a la presión atmosférica.

Un aparato de pulverización catódica (10) que comprende:

una diana de pulverización catódica cilíndrica giratoria (1);

al menos un bloque de extremo (3; 4) para soportar un extremo de la diana de pulverización catódica cilíndrica giratoria (1), incluyendo el bloque de extremo (3; 4) un colector conductor fijo (20) y un rotor conductor giratorio (22) dispuesto para girar con la diana de pulverización catódica cilíndrica (1) durante las operaciones de pulverización catódica;

el bloque de extremo (3; 4) que incluye además una estructura de transferencia de energía eléctrica (18) situada entre el colector conductor fijo (20) y el rotor giratorio (22) y dispuesta para transferir energía eléctrica del colector (20) al rotor (22); en donde la estructura de transferencia de energía eléctrica (18), el rotor (22) y el colector (20) están situados, cada uno, en un área al vacío que tiene una presión inferior a la presión atmosférica durante las operaciones de pulverización catódica; una primera área de enfriamiento (36) dispuesta de manera que el líquido fluye a través de dicha primera área de enfriamiento (36) para enfriar el colector conductor fijo (20), estando la primera área de enfriamiento (36) ubicada alrededor de al menos una porción del colector conductor fijo (20) y siendo sustancialmente concéntrica con el colector conductor fijo (20); en donde la primera área de enfriamiento (36) está dispuesta además de modo que el líquido en la primera área de enfriamiento (36) fluye alrededor de un eje (24) alrededor del cual se hacen girar la diana (1) y el rotor (22); y una segunda área de enfriamiento (40), separada de la primera área de enfriamiento (36), dispuesta de tal manera que el líquido fluye a través de dicha segunda área de enfriamiento (40) para enfriar el rotor (22) y la diana (1), estando la segunda área de enfriamiento (40) rodeada al menos parcialmente por el rotor (22), y en donde la segunda área de enfriamiento (40) está dispuesta además de tal manera que el líquido en la segunda área de enfriamiento (40) fluye en al menos una dirección que es sustancialmente paralela al eje (24) alrededor del cual se hacen girar la diana (1) y el rotor (22).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2014/072784.

Solicitante: Guardian Europe S.à.r.l.

Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.

Dirección: Atrium Business Park, Extimus Building, 19, rue du Puits Romain 8070 Bertrange LUXEMBURGO.

Inventor/es: SCHLOREMBERG,MARCEL, GALAN,GILBERT, USELDING,JEAN-PHILIPPE, COMANS,GUY.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/35 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
  • H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2660576_T3.pdf

 

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