Bloque de extremo para diana giratoria con conexión eléctrica entre colector y rotor a presión inferior a la presión atmosférica.
Un aparato de pulverización catódica (10) que comprende:
una diana de pulverización catódica cilíndrica giratoria (1);
al menos un bloque de extremo (3; 4) para soportar un extremo de la diana de pulverización catódica cilíndrica giratoria (1), incluyendo el bloque de extremo (3; 4) un colector conductor fijo (20) y un rotor conductor giratorio (22) dispuesto para girar con la diana de pulverización catódica cilíndrica (1) durante las operaciones de pulverización catódica;
el bloque de extremo (3; 4) que incluye además una estructura de transferencia de energía eléctrica (18) situada entre el colector conductor fijo (20) y el rotor giratorio (22) y dispuesta para transferir energía eléctrica del colector (20) al rotor (22); en donde la estructura de transferencia de energía eléctrica (18), el rotor (22) y el colector (20) están situados, cada uno, en un área al vacío que tiene una presión inferior a la presión atmosférica durante las operaciones de pulverización catódica; una primera área de enfriamiento (36) dispuesta de manera que el líquido fluye a través de dicha primera área de enfriamiento (36) para enfriar el colector conductor fijo (20), estando la primera área de enfriamiento (36) ubicada alrededor de al menos una porción del colector conductor fijo (20) y siendo sustancialmente concéntrica con el colector conductor fijo (20); en donde la primera área de enfriamiento (36) está dispuesta además de modo que el líquido en la primera área de enfriamiento (36) fluye alrededor de un eje (24) alrededor del cual se hacen girar la diana (1) y el rotor (22); y una segunda área de enfriamiento (40), separada de la primera área de enfriamiento (36), dispuesta de tal manera que el líquido fluye a través de dicha segunda área de enfriamiento (40) para enfriar el rotor (22) y la diana (1), estando la segunda área de enfriamiento (40) rodeada al menos parcialmente por el rotor (22), y en donde la segunda área de enfriamiento (40) está dispuesta además de tal manera que el líquido en la segunda área de enfriamiento (40) fluye en al menos una dirección que es sustancialmente paralela al eje (24) alrededor del cual se hacen girar la diana (1) y el rotor (22).
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2014/072784.
Solicitante: Guardian Europe S.à.r.l.
Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.
Dirección: Atrium Business Park, Extimus Building, 19, rue du Puits Romain 8070 Bertrange LUXEMBURGO.
Inventor/es: SCHLOREMBERG,MARCEL, GALAN,GILBERT, USELDING,JEAN-PHILIPPE, COMANS,GUY.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
- H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
PDF original: ES-2660576_T3.pdf
Patentes similares o relacionadas:
Dispositivo de ablación por chispas y procedimiento de generación de nanopartículas, del 17 de Junio de 2020, de VSParticle Holding B.V: Un dispositivo de ablación por chispas de generación de nanopartículas provisto de una entrada/salida para el gas y que comprende un generador de chispas […]
Dispositivo de recubrimiento por plasma post-descarga para sustratos con forma de alambre, del 29 de Abril de 2020, de Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST): Dispositivo de recubrimiento de plasma post-descarga para un sustrato con forma de alambre , que comprende: - un electrodo tubular interno sobre una pared tubular […]
Sistema de capa de vacío y tratamiento con plasma, y procedimiento para recubrir un sustrato, del 26 de Febrero de 2020, de VAPOR TECHNOLOGIES, INC: Un sistema de tratamiento con plasma y recubrimiento de vacío que comprende: un conjunto de plasma dispuesto de modo tal que mira a un sustrato […]
Proceso de plasma y reactor para el tratamiento termoquímico de la superficie de piezas metálicas, del 19 de Febrero de 2020, de Universidade Federal De Santa Catarina (UFSC): Proceso para el tratamiento superficial termoquímico de piezas metálicas, en un reactor (R) de plasma que tiene una cámara de reacción (RC) […]
Fuente de plasma para un aparato de CVD de plasma y un procedimiento de fabricación de un artículo por el uso de la fuente de plasma, del 19 de Febrero de 2020, de AGC Inc: Una fuente de plasma para un aparato de CVD de plasma, que comprende: un grupo de electrodos que incluye cuatro electrodos, que son un primer electrodo […]
Dispositivo de revestimiento para el revestimiento de un sustrato, así como un procedimiento para el revestimiento de un sustrato, del 15 de Enero de 2020, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Dispositivo de evaporación de un material diana que comprende una cámara de proceso para el establecimiento y el mantenimiento […]
Fuente de evaporación por arco, del 18 de Diciembre de 2019, de KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.): Una fuente de evaporación por arco, incluyendo: un blanco a fundir y evaporar de una superficie de extremo delantero (3a) del blanco […]
Método para el revestimiento de un sustrato con una capa de polímero, del 11 de Diciembre de 2019, de EUROPLASMA NV: Un método para revestir un sustrato con una capa de polímero, donde dicho método comprende la localización de un primer juego de electrodos (14, […]