Técnicas de deposición de revestimientos de óxido conductor transparente utilizando aparatos de pulverización catódica C-MAG doble.

Un método de fabricación de un artículo recubierto, comprendiendo el método:



proporcionar un artículo a recubrir;

proporcionar un aparato de pulverización catódica que comprende:

una cámara de vacío,

un primer y un segundo tubos cilíndricos rotatorios situados en estrecha proximidad entre sí en otra cámara de vacío, soportando el primer y el segundo tubos respectivamente un primer y un segundo objetivos de pulverización catódica que incluyen un material objetivo,

al menos una fuente de alimentación eléctrica conectada de forma operativa al primer y al segundo tubos de pulverización catódica, y

una entrada de gas del tragante situada próxima al primer y al segundo tubos y en un lado de los tubos opuesto al artículo a recubrir;

proporcionar un flujo de oxígeno a la cámara de vacío por la entrada de gas del tragante;

proporcionar un flujo de gas inerte a la cámara de vacío para aumentar la presión en su interior hasta aproximadamente 10-3 a 10-2 mbares;

rotar el primer y el segundo tubos a menos de aproximadamente 5 rpm;

detectar el flujo de oxígeno en el interior de la cámara de vacío y/o una cantidad de electricidad aplicada al primer y al segundo tubos;

detectar la presión parcial de oxígeno;

ajustar el flujo de oxígeno y/o la cantidad de electricidad proporcionada por al menos una fuente de alimentación eléctrica para compensar cualquier variación detectada de presión parcial de oxígeno; y depositar un revestimiento sobre el artículo que se va a recubrir en la fabricación del artículo recubierto.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E10152525.

Solicitante: Guardian Europe S.à.r.l.

Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.

Dirección: Atrium Business Park, Extimus Building, 19, rue du Puits Romain 8070 Bertrange LUXEMBURGO.

Inventor/es: DIETRICH, ANTON, DR., LU,Yiwei, CORSNER,BRYCE.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/00 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00).
  • C23C14/35 C23C […] › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/34 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2656429_T3.pdf

 

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