METODO DE MONITORIZACION DE UN PLASMA Y APLICACION DE ESTE METODO PARA LA DEPOSICION DE UNA PELICULA SOBRE UN CUERPO HUECO DE PET.
Método de monitorización de la composición de un plasma, generándose este plasma a partir de precursores determinados para la deposición de una película sobre un material polimérico,
comprendiendo este método la recepción de intensidades luminosas emitidas por el plasma, estando este método caracterizado porque comprende: #- una etapa de elección de una primera gama de longitudes de onda, denominada de referencia, que se elige en una región del espectro de emisión del plasma en la que no puede existir ninguna señal significativa de una especie química denominada parásita, es decir que no forma parte de dichos precursores determinados y que por tanto normalmente no está presente en el plasma y cuya presencia en el plasma influye en la naturaleza de la película depositada; #- una etapa de elección de una segunda gama de longitudes de onda que se elige en una región del espectro de emisión del plasma en la que es susceptible de existir una señal significativa de una especie química parásita; #- una etapa de adquisición simultánea de las intensidades luminosas emitidas por el plasma en cada una de las dos gamas de longitudes de onda elegidas; #- una etapa de cálculo, a partir de dichas intensidades luminosas, de al menos un coeficiente de monitorización.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: SIDEL PARTICIPATIONS.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: AVENUE DE LA PATROUILLE DE FRANCE,76930 OCTEVILLE SUR MER.
Inventor/es: FEUILLOLEY, GUY, RIUS, JEAN-MICHEL.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 6 de Mayo de 2009.
Clasificación PCT:
- C23C16/511 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › utilizando descargas con microondas.
- C23C16/52 C23C 16/00 […] › Control o regulación de los procesos de revestimiento.
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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