METODO DE FABRICACION DE UN GIROSCOPO CON ESTRUCTURA VIBRATORIA.
Un método de fabricación de un giroscopio de estructura vibratoria que tiene una estructura vibratoria anular de silicio sustancialmente planar o plana,
medios capacitivos para impartir el movimiento de accionamiento y el movimiento de detección de la estructura vibratoria, y una capa de apantallamiento que rodea a los medios capacitivos, que incluye las operaciones de: depositar una primera capa de material fotorresistente en una superficie de una placa tal como sustrato de vidrio o de silicio, endurecer, hacer el diseño y revelar la primera capa fotorresistente para exponer áreas seleccionadas del sustrato, grabar dichas áreas expuestas del sustrato para formar cavidades en él, desmontar la primera capa restante de material fotorresistente de dicho sustrato de cavidad, unir una capa de silicio a la cavidad de dicha superficie del sustrato, depositar una capa de aluminio sobre la superficie de la capa de silicio más alejada de su superficie unida al sustrato, depositar una segunda capa de material fotorresistente sobre la superficie más exterior de la capa de aluminio con respecto a la capa de silicio, endurecer, hacer el diseño y revelar la segunda capa fotorresistente para exponer áreas seleccionadas de la capa de aluminio, grabar dichas áreas expuestas de la capa de aluminio para dejar sobre la capa de silicio regiones de aluminio que proporcionan almohadillas de unión para poner a tierra la capa de apantallamiento, almohadillas de unión que forman puntos de conexión para los medios de accionamiento y de detección capacitivos, y almohadillas de unión para conexión eléctrica a la estructura vibratoria anular de silicio sustancialmente planar, desmontar la segunda capa fotorresistente restante de la capa de aluminio, depositar una tercera capa de material fotorresistente sobre la capa de silicio sobre las regiones de la capa de aluminio depositadas restantes, endurecer, hacer el diseño y revelar la tercera capa de material fotorresistente para exponer áreas seleccionadas de la capa de silicio, grabar profundamente con iones reactivos las áreas seleccionadas expuestas de la capa de silicio para formar, a partir de la capa de silicio, los medios de accionamiento y de detección capacitivos, la capa de apantallamiento circundante y la estructura vibratoria anular sustancialmente planar montada por un cubo por encima de las cavidades del sustrato que permiten la oscilación sin restricciones de la estructura anular, y aislar eléctricamente los medios de accionamiento y de detección capacitivos, capa de apantallamiento y estructura vibratoria anular entre sí.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BRITISH AEROSPACE PUBLIC LIMITED COMPANY.
Nacionalidad solicitante: Reino Unido.
Dirección: WARWICK HOUSE, P.O. BOX 87, FARNBOROUGH AEROSPACE CENTRE,FARNBOROUGH, HANTS. GU14 6YU.
Inventor/es: FELL, CHRISTOPHER, PAUL, TOWNSEND, KEVIN, STURLAND, IAN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 17 de Diciembre de 1999.
Fecha Concesión Europea: 28 de Julio de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01C19/56 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01C MEDIDA DE DISTANCIAS, NIVELES O RUMBOS; TOPOGRAFIA; NAVEGACION; INSTRUMENTOS GIROSCOPICOS; FOTOGRAMETRIA O VIDEOGRAMETRIA (medida del nivel de líquidos G01F; radio navegación, determinación de la distancia o velocidad mediante la utilización de efectos de propagación, p. ej. efecto Doppler, tiempo de propagación, de ondas de radio, disposiciones análogas que utilicen otras ondas G01S). › G01C 19/00 Giróscopos; Dispositivos sensibles al giro con masas vibratorias; Dispositivos sensibles al giro sin masas móviles; Medida de velocidad angular usando efectos giroscópicos. › Dispositivos sensibles al giro con masas vibratorias, p. ej. sensores de velocidad vibratoria angular sobre la base de las fuerzas de Coriolis.
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, República Unida de Tanzania, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.
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