DISPOSITIVO DE MEDICION ELIPSOMETRO.
Dispositivo de medición elipsómetro para la determinación del espesor de una capa aplicada sobre un substrato con una fuente de luz (3) que emite un rayo de entrada (9),
con una óptica de emisión, que conduce el rayo de entrada (9) polarizado hacia un punto de incidencia (P) del substrato, y con una óptica de recepción, que presenta un analizador (5.4) y que conduce el rayo de reflexión (10), formado en el punto de incidencia (P), hacia una instalación de foto-receptores (5.7, 5.8), siendo modificada la dirección de polarización del rayo de entrada (9) y del analizador (5.4) relativamente entre sí en el tiempo y siendo evaluadas las modificaciones de la intensidad generadas de esta manera por medio de una instalación de evaluación (7) para la determinación del espesor de la capa, caracterizado porque está prevista una instalación de medición de ángulos (5.7, 5.8, 7.1), con la que se puede detectar el ángulo del rayo de reflexión (10) con relación a un plano tangencial del substrato (1) en el punto de incidencia (P), y porque el espesor de capa se puede determinar por medio de la instalación de evaluación (7) en función del ángulo detectado.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ROBERT BOSCH GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: POSTFACH 30 02 20,70442 STUTTGART.
Inventor/es: HAHN, JURGEN, KIHNLE, GITZ.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 6 de Agosto de 1998.
Fecha Concesión Europea: 17 de Marzo de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.
Países PCT: Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Oficina Europea de Patentes.
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