Método y sistema para la medición en tiempo real durante el proceso del espesor de recubrimiento.

Un método que comprende:

A) (202) proporcionar y dirigir ondas de luz hacia un sustrato móvil (120) que comprende un recubrimiento (122);



B) (203) polarizar linealmente las ondas de luz;

C) convertir las ondas de luz linealmente polarizadas en ondas de luz circularmente polarizadas;

D) (204) analizar ondas de luz elípticamente polarizadas reflejadas por el sustrato móvil (120);

E) (206) capturar ondas de luz analizadas;

F) (208) generar datos de onda de luz basándose en las ondas de luz capturadas;

G) (210) determinar un espesor del recubrimiento (122) basándose en los datos de onda de luz H) (212) determinar la validez de los datos de onda de luz;

caracterizado por que:

los datos de onda de luz no son válidos si:

se detecta una perturbación en el movimiento del sustrato y, si se determina que los datos de onda de luz no son válidos:

(214) los componentes de sistema se ajustan para compensar las perturbaciones detectadas; y

las etapas de método A-H se repiten hasta que los datos de onda de luz se determinan como válidos.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2014/027980.

Solicitante: SENSORY ANALYTICS.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 405 Pomona Drive Greensboro, NC 27407 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.

Inventor/es: KOMARAGIRI,VIVEK, FRISBY,GREG.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01B11/06 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS.G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.

PDF original: ES-2808550_T3.pdf

 

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