Método y sistema para la medición en tiempo real durante el proceso del espesor de recubrimiento.
Un método que comprende:
A) (202) proporcionar y dirigir ondas de luz hacia un sustrato móvil (120) que comprende un recubrimiento (122);
B) (203) polarizar linealmente las ondas de luz;
C) convertir las ondas de luz linealmente polarizadas en ondas de luz circularmente polarizadas;
D) (204) analizar ondas de luz elípticamente polarizadas reflejadas por el sustrato móvil (120);
E) (206) capturar ondas de luz analizadas;
F) (208) generar datos de onda de luz basándose en las ondas de luz capturadas;
G) (210) determinar un espesor del recubrimiento (122) basándose en los datos de onda de luz H) (212) determinar la validez de los datos de onda de luz;
caracterizado por que:
los datos de onda de luz no son válidos si:
se detecta una perturbación en el movimiento del sustrato y, si se determina que los datos de onda de luz no son válidos:
(214) los componentes de sistema se ajustan para compensar las perturbaciones detectadas; y
las etapas de método A-H se repiten hasta que los datos de onda de luz se determinan como válidos.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2014/027980.
Solicitante: SENSORY ANALYTICS.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 405 Pomona Drive Greensboro, NC 27407 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.
Inventor/es: KOMARAGIRI,VIVEK, FRISBY,GREG.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B11/06 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 11/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios ópticos (instrumentos de los tipos cubiertos por el grupo G01B 9/00 en sí G01B 9/00). › para la medida del espesor.
PDF original: ES-2808550_T3.pdf
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