APARATO DE PROCESAMIENTO DE PLASMA CON PARED CONDUCTORA ELECTRICA.
Aparato para procesamiento de plasma, que comprende: una cámara de plasma (1) que comprende una pared eléctricamente conductora (10),
en el que dicha pared eléctricamente conductora presenta una o mas aberturas (100) para interrumpir un trayecto de corriente (19) en dicha pared cuando se suministra energía electromagnética al interior de la cámara desde el exterior de la cámara, medios electromagnéticos externos (2) para suministrar energía electromagnética al interior de dicha cámara de plasma a través de dicha pared eléctricamente conductora para crear un plasma en el interior de la cámara, y medios de sellado (16, 17) para sellar dicha por lo menos una abertura, caracterizado porque dichos medios de sellado comprenden uno o mas elementos de cerramiento eléctricamente conductores (16), y porque cada abertura esta sellada con uno de dichos elementos de cerramiento montado en la superficie externa de dicha pared eléctricamente conductora, estando dichos elementos de cerramiento eléctricamente conductores aislados eléctricamente de dicha pared eléctricamente conductora.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EUROPEAN COMMUNITY.
Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.
Dirección: RUE ALCIDE DE GASPERI,2920 LUXEMBOURG.
Inventor/es: COLPO, PASCAL, ROSSI, FRANCOIS.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 7 de Mayo de 2003.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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