METODO Y DISPOSITIVO PARA CORREGIR EFECTOS DE PROXIMIDAD.
(16/02/2004) Método para determinar el diseño precompensado de dosis de exposición de un haz de electrones requerido por cada posición de diseño para obtener el diseño deseado en un recubrimiento sobre un substrato , que comprende: - determinar la función de emborronamiento del haz de electrones ; - determinar el diseño precompensado con la función emborronamiento y el diseño deseado, en el que la determinación es realizada de manera que las dosis de exposición contienen casi exclusivamente valores positivos y que las dosis de exposición son iguales unas con relación a otras, en el que el paso de determinar el diseño precompensado comprende los pasos de: a.- estimar un parámetro de regularización; b.- determinar…