METODO Y DISPOSITIVO PARA CORREGIR EFECTOS DE PROXIMIDAD.
Método para determinar el diseño precompensado de dosis de exposición de un haz de electrones (3) requerido por cada posición de diseño para obtener el diseño deseado en un recubrimiento (2) sobre un substrato (1),
que comprende: - determinar la función de emborronamiento del haz de electrones (3); - determinar el diseño precompensado con la función emborronamiento y el diseño deseado, en el que la determinación es realizada de manera que las dosis de exposición contienen casi exclusivamente valores positivos y que las dosis de exposición son iguales unas con relación a otras, en el que el paso de determinar el diseño precompensado comprende los pasos de: a.- estimar un parámetro de regularización; b.- determinar un diseño precompensado con todos los puntos de diseño del diseño deseado, con la excepción de un punto de diseño determinado; c.- emborronar el diseño precompensado nuevamente con la función de emborronamiento al objeto de predecir la dosis del punto de diseño determinado; d.- repetir los pasos b y c para cada punto de diseño; e.- repetir los pasos a al d con un parámetro de regularización adaptado hasta que sea obtenido un valor final del parámetro de regularización; f.- determinar el diseño precompensado con el valor final del parámetro de regularización.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: VAN DYCK, DIRK ERNST MARIA.
Nacionalidad solicitante: Bélgica.
Dirección: KLEINE GRIPPE 37,2630 AARTSELAAR.
Inventor/es: VAN DYCK, DIRK, ERNST, MARIA, JEDRASIK, PIOTR TOMASZ, UNIV. CNTR. ANTWERPEN.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 14 de Junio de 1999.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/302 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Control de tubos por una información de origen externo, p. ej. control por programa (H01J 37/304 tiene prioridad).
Países PCT: Bélgica, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Países Bajos, Oficina Europea de Patentes, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.
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