Propiedades de una superficie y estructuras subsuperficiales con interferometría de luz blanca usando chorros fotónicos.
Una disposición para determinar las propiedades en tres dimensiones y en el dominio del tiempo de una interfaz (100) de un objeto,
la disposición comprende medios para la formación de imágenes de interferometría de baja coherencia, en la que los medios para la formación de imágenes de interferometría comprenden:
- una fuente de luz (102),
- medios de formación de imágenes (110) para formar una imagen de interferencia en base a la interferencia entre la luz que llega a los medios de formación de imágenes desde la interfaz del objeto y la luz que llega a los medios de formación de imágenes desde un trayecto de referencia relacionado con la formación de imágenes de interferometría de baja coherencia, y
- medios (105a, 105b, 123, 130, 132, 134) para formar el trayecto de referencia desde la fuente de luz a los medios de formación de imágenes, para dirigir la luz desde la fuente de luz hacia la interfaz del objeto, y para dirigir la luz desde la interfaz del objeto a los medios de formación de imágenes,
caracterizado porque la disposición comprende además medios (108) que constituyen una estructura de modificación de campo cercano para formar, a partir de la luz dirigida hacia la interfaz del objeto, uno o más chorros fotónicos dirigidos a la interfaz del objeto, en la que los medios para la formación de imágenes de interferometría de baja coherencia está dispuesto para realizar la formación de imágenes de interferometría de baja coherencia a través de los medios que constituyen la estructura de modificación de campo cercano.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/FI2015/050876.
Solicitante: Nanojet Oy.
Nacionalidad solicitante: Finlandia.
Dirección: PL 64 00014 Helsingin Yliopisto FINLANDIA.
Inventor/es: KASSAMAKOV,IVAN, HAEGGSTRÖM,EDWARD.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B9/02 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.
- G02B21/00 G […] › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › Microscopios (oculares G02B 25/00; sistemas polarizantes G02B 27/28; microscopios de medida G01B 9/04; micrótomos G01N 1/06; técnicas o aparatos de sonda de barrido G01Q).
- G02B27/58 G02B […] › G02B 27/00 Aparatos o sistemas ópticos no previstos en ninguno de los grupos G02B 1/00 - G02B 26/00, G02B 30/00. › Optica para la apodización o la superresolución; Sistemas ópticos con apertura sintetizada.
PDF original: ES-2765734_T3.pdf
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