Módulo de proceso.
Módulo de proceso (1, 1A, 1B, 1C, 1D) con al menos una cámara de proceso (2,
2A, 2B) situada en el módulo de proceso (1, 1A, 1B, 1C, 1D) y susceptible de ser sometida a vacío, y con al menos un dispositivo portador (3) móvil horizontalmente a través del módulo de proceso (1, 1A, 1B, 1C, 1D) en al menos una dirección de transporte de sustratos para recibir cada vez al menos un sustrato plano (4) que debe procesarse en la cámara de proceso (2, 2A, 2B),
en el que la al menos una cámara de proceso (2, 2A, 2B) puede ser cerrada físicamente con respecto al módulo de proceso (1, 1A, 1B, 1C, 1D) por el dispositivo portador (3), cuya posición puede ser variada en al menos una dirección de cierre transversal a la dirección de transporte de sustratos, formando el al menos un dispositivo portador (3) un fondo de la al menos una cámara de proceso (2, 2A, 2B),
caracterizado por que el módulo de proceso está concebido como un módulo de una instalación de circulación y la dirección de transporte de sustratos es la dirección de circulación por la instalación de circulación, o bien el módulo de proceso es un módulo final que presenta una abertura de transporte de entrada y de transporte de salida de al menos un dispositivo portador, existiendo dos direcciones de transporte de sustratos, una dirección de introducción y una dirección de extracción opuesta a ésta, y
el módulo de proceso (1, 1A, 1B, 1C, 1D) presenta un sistema de transporte (8) para realizar un transporte del dispositivo portador (3) hacia dentro de la cámara de proceso (2, 2A, 2B) y/o un transporte del dispositivo portador (3) hacia fuera de la cámara de proceso (2, 2A, 2B), estando previsto el transporte de entrada y/o el transporte de salida en un plano de transporte paralelo a una extensión horizontal de la cámara de proceso (2, 2A, 2B), y la dirección de movimiento del dispositivo portador (3) hacia la cámara de proceso (2, 2A, 2B) y hacia fuera de la cámara de proceso (2, 2A, 2B) después del tratamiento en una instalación de circulación es la dirección de circulación.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/IB2013/050416.
Solicitante: Meyer Burger (Germany) GmbH.
Inventor/es: HEINZE,ANDREAS, MAI,JOACHIM, MUELLER,DANNY, RASCHKE,SEBASTIAN.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/67 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Aparatos especialmente adaptados para el manejo de dispositivos semiconductores o eléctricos de estado sólido durante su fabricación o tratamiento; Aparatos especialmente adaptados para el manejo de obleas durante la fabricación o tratamiento de dispositivos o componentes semiconductores o eléctricos de estado sólido.
- H01L21/677 H01L 21/00 […] › para el transporte, p. ej. entre diferentes estaciones de trabajo.
PDF original: ES-2767297_T3.pdf
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