Procedimiento y dispositivo para transportar objetos.
Procedimiento para transportar al menos un objeto sustancialmente plano y libremente móvil (1) sobre un líquido empleando un dispositivo que comprende al menos una superficie de tratamiento con al menos una zona (2) de ataque de corriente y al menos una zona de descarga (3) adyacente lateralmente a la superficie de tratamiento,
en el que el líquido (F) necesario para el transporte es dispensado desde la al menos una zona (2) de ataque de corriente de la al menos una superficie de tratamiento de tal manera que dicho líquido atque al objeto plano (1) antes de que se descargue en la al menos una zona de descarga (3) dispuesta lateralmente con respecto a la superficie de tratamiento, con lo que se genera entre el objeto plano (1) y el límite entre la superficie de tratamiento y la zona de descarga una fuerza de adherencia autocentradora del objeto, mediante la cual, sin ayudas de guía mecánicas, el objeto (1) puede ser retenido sobre el líquido (F) y guiado fielmente sobre su vía.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2009/004461.
Solicitante: RENA GMBH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: OB DER ECK 5 78148 GÜTENBACH ALEMANIA.
Inventor/es: KALTENBACH,KONRAD, DELAHAYE,FRANCK, POTOFEEW,VITALIJ, BAREIS,DIRK.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01L21/677 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › para el transporte, p. ej. entre diferentes estaciones de trabajo.
PDF original: ES-2396037_T3.pdf
Fragmento de la descripción:
Procedimiento y dispositivo para transportar objetos.
La presente invención concierne a procedimientos y dispositivos para transportar objetos sustancialmente planos, en los que se efectúa el transporte empleando un líquido circulante. La invención concierne también a procedimientos y dispositivos para transportar objetos de esta clase y también para someterlos al mismo tiempo a un tratamiento químico en húmedo.
En primer lugar, antes de entrar en los antecedentes de la invención se explicarán algunos términos que son importantes para la comprensión de la presente invención y que no tienen en el lenguaje corriente un significado claramente perfilado.
El “transporte” de un objeto plano comprende tanto la variación local de la posición del objeto a transportar como la simple inmovilización de esta posición sin un movimiento simultáneo del objeto, en lo que sigue designada con “soporte”.
Por consiguiente, “soporte” o “retención” significa que el objeto plano está sustancialmente parado, es decir que no se presenta ninguna velocidad de transporte en ninguna dirección. El dispositivo proporciona la fuerza (de soporte) necesaria para la retención.
Para mover el objeto en la dirección deseada, éste tiene que ser sometido a un “avance”, de modo que se ejerce una fuerza de avance correspondiente sobre el objeto.
Para que el objeto mantenga una trayectoria o vía predeterminada durante el avance, tiene que ser adicionalmente “guiado”, por lo que actúa una fuerza de guía sobre el objeto. La fuerza de guía prevista para el “guiado” debe diferenciarse de la fuerza de avance necesaria para el movimiento de transporte. Para simplificar, en lo que sigue se habla resumidamente de “transportar” en lugar de “retener, avanzar y/o guiar”.
“Mecánicamente actuante” significa que la transmisión de las fuerzas antes citadas se efectúa con medios mecánicos. Esto incluye todos los procedimientos no fluídicos, tal como, por ejemplo, medios de plástico o metal, pero también los constituidos por sustancias muy blandas, por ejemplo de tipo gel. Por el contrario, aparte de líquidos no se incluyen tampoco medios gaseosos.
Un objeto plano es “libremente móvil” cuando no es soportado, retenido o guiado por medios mecánicamente actuantes.
Para retener objetos planos (en lo que sigue llamados también sustratos o abreviadamente objetos) son suficientemente conocidos por el estado de la técnica, por ejemplo, pinzas, apoyos, cartuchos, etc. Una retención de objetos planos es necesaria, entre otras situaciones, cuando estos objetos son sometidos a un tratamiento estacionario. En los dispositivos conocidos es desventajoso especialmente el hecho de que los sustratos tienen que ser tocados mecánicamente para apoyarlos y/o centrarlos en contra de la fuerza de la gravedad, es decir, para mantenerlos en una posición deseada. Este contacto puede afectar típicamente al lado inferior de un sustrato, siempre que se le deposite sobre apoyos. Como alternativa o adicionalmente, este contacto puede extenderse al canto o los cantos del sustrato, ya que se tiene que impedir habitualmente un desprendimiento lateral del sustrato. Esto es lo que ocurre también, por ejemplo, cuando el sustrato es elevado desde abajo por el líquido de tratamiento circulante, de modo que flota sobre un cojín de líquido y, por tanto, no tiene que estar depositado permanentemente sobre apoyos (mecánicamente actuantes) . Además, es desventajoso también el que se formen fuerzas capilares entre los apoyos y el producto durante la retención, ya que una rendija capilar de esta clase se reduce naturalmente sin distanciadores adicionales hasta que se establezca un contacto mecánico con los apoyos.
El guiado cuidadoso de objetos planos es de interés en el marco de dispositivos de transporte como los que se utilizan preferiblemente para transportar sustratos dentro y entre instalaciones de tratamiento. Asimismo, se puede efectuar simultáneamente con el transporte un tratamiento preferiblemente químico en húmedo, siempre que el líquido utilizado presente propiedades correspondientes o incluya sustancias o materias activas.
En cada uno de los casos descritos es necesario que los equipos de transporte utilizados transporten los sustratos de la manera más cuidadosa posible desde una instalación de tratamiento hasta la siguiente, o bien dentro de una instalación, por ejemplo introduciéndolos en un líquido de tratamiento y extrayéndolos nuevamente del mismo. El equipo de transporte tiene que estar aquí constituido de modo que las zonas a procesar (por ejemplo, un lado del sustrato) se mantengan libres en todo momento durante el transporte y no sean cubiertas. Durante el transporte se debe asegurar en todo momento que los objetos sigan una trayectoria de transporte predeterminada.
Particularmente para el caso de un procesamiento que vaya más allá del mero transporte, los sustratos se ponen muy frecuentemente en contacto, durante un espacio de tiempo definido, con el líquido de transporte y/o de tratamiento, por ejemplo una solución de limpieza o de corrosión o un líquido de revestimiento. Durante el transporte, el tiempo de tratamiento tiene una sensible influencia sobre el resultado. Para mantener el tiempo de tratamiento deseado se proponen en el estado de la técnica especialmente los dos métodos siguientes. Un primer método prevé que el sustrato esté sustancialmente parado durante el tratamiento. El tiempo de tratamiento viene prefijado por el periodo dentro del cual el equipo de transporte deja al sustrato dentro de líquido de tratamiento (instalación de baño) . Un segundo método prevé que el sustrato siga siendo sustancialmente transportado durante el tratamiento, por ejemplo por medio de un transporte a lo largo de la superficie del líquido de tratamiento que se encuentra en un recipiente de longitud determinada (instalación de circulación, procedimiento de circulación) . Frecuentemente, se emplean para ello también unos pisones que deberán impedir una flotación ascendente de los sustratos frecuentemente delgados. En vista de los altos rendimientos, se da generalmente la preferencia al procedimiento de circulación.
En instalaciones de baño puede conseguirse un entremezclado generalmente necesario para el tratamiento o un intercambio de los líquidos de tratamiento mediante un movimiento relativo intermitente del sustrato o los sustratos en el baño o, por ejemplo, mediante toberas y similares. En instalaciones de circulación es inmanente al sistema la presencia de una velocidad relativa entre el sustrato y el líquido de tratamiento; un intercambio de líquido consumido que vaya más allá de esto puede efectuarse por medio de toberas o a través de presas o similares.
Sin embargo, en el transporte del sustrato, sea por cadenas, rodillos, cilindros, portapiezas de trabajo o pinzas, seplantea una serie de problemas. Éstos están relacionados sobre todo con una posible pérdida de la vía de los sustratos y con las cargas mecánicas durante el transporte.
Motivos de una pérdida de vía de los sustratos a transportar pueden ser, por ejemplo, vibraciones mecánicas y también fluctuaciones de temperatura que puedan conducir a una deformación en los equipos de transporte. Otro motivo reside en la masa frecuentemente pequeña de los sustratos, que conduce a una fuerza de rozamiento que no es suficiente para una transmisión segura de las fuerzas de avance. Debido a la pérdida de vía aumenta de momento el riesgo de colisiones con otros sustratos durante el transporte o con guías (laterales) que están habitualmente presentes también en tales instalaciones y que deberán impedir un desprendimiento de los sustratos hacia fuera de la trayectoria deseada. Además, se dificulta una recepción de los productos de transporte para un paso de procesamiento ulterior o un traslado, de modo que, en ciertas circunstancias, esta recepción no puede efectuarse a máquina.
Los dispositivos para guiar o transportar sustratos planos son suficientemente conocidos por el estado de la técnica, previendo siempre también las soluciones descritas respecto del soporte y/o el guiado un contacto mecánico entre el producto a transportar y el dispositivo de transporte.
Un dispositivo de transporte que presenta los pisones ya mencionados anteriormente se encuentra revelado, por ejemplo, en el documento EP 1 354 830 B1. El tiempo de tratamiento se determina aquí según la velocidad de transporte (ajustable con precisión) del sustrato y la longitud del recipiente que contiene el líquido de tratamiento. No obstante, los sustratos son retenidos por medios mecánicos, con lo... [Seguir leyendo]
Reivindicaciones:
1. Procedimiento para transportar al menos un objeto sustancialmente plano y libremente móvil (1) sobre un líquido empleando un dispositivo que comprende al menos una superficie de tratamiento con al menos una zona (2) de ataque de corriente y al menos una zona de descarga (3) adyacente lateralmente a la superficie de tratamiento, en el que el líquido (F) necesario para el transporte es dispensado desde la al menos una zona (2) de ataque de corriente de la al menos una superficie de tratamiento de tal manera que dicho líquido atque al objeto plano (1) antes de que se descargue en la al menos una zona de descarga (3) dispuesta lateralmente con respecto a la superficie de tratamiento, con lo que se genera entre el objeto plano (1) y el límite entre la superficie de tratamiento y la zona de descarga una fuerza de adherencia autocentradora del objeto, mediante la cual, sin ayudas de guía mecánicas, el objeto (1) puede ser retenido sobre el líquido (F) y guiado fielmente sobre su vía.
2. Procedimiento según la reivindicación 1, en el que el líquido (F) es un líquido de tratamiento.
3. Procedimiento según la reivindicación 1 ó 2, en el que, para mover el objeto plano (1) , se ejerce adicionalmente una fuerza de empuje (V) sobre el mismo.
4. Procedimiento según la reivindicación 3, en el que la fuerza de avance (V) es proporcionada por una corriente de líquido dirigida.
5. Procedimiento según la reivindicación 3 ó 4, en el que la fuerza de avance (V) es proporcionada adicional o exclusivamente por un equipo de avance mecánicamente actuante (4) .
6. Dispositivo para transportar un objeto sustancialmente plano y libremente móvil (1) sobre un líquido, que comprende
- al menos una superficie de tratamiento con al menos una zona (2) de ataque de corriente dotada de una pluralidad de aberturas de paso (6) , desde las cuales se puede atacar el objeto plano (1) con un líquido (F) , y
- al menos una zona de descarga (3) lateralmente adyacente a la superficie de tratamiento para descarga el líquido
(F) después de la acción de ataque de éste,
no comprendiendo el dispositivo cantos no fluídicos, limitadores no fluídicos u otras ayudas de guías mecánicas para retener y guiar el objeto plano (1) y estando configuradas la superficie de tratamiento y la zona de descarga de tal manera que se pueda generar entre el objeto plano (1) y el límite entre la superficie de tratamiento y la zona de descarga una fuerza de adherencia autocentradora del objeto, mediante la cual el objeto plano (1) pueda ser retenido y guiado exclusivamente por la corriente del líquido (F) .
7. Dispositivo según la reivindicación 6, en el que la zona (2) de ataque de corriente está configurada como parte de una superficie de tratamiento plana (7) .
8. Dispositivo según la reivindicación 6 ó 7, en el que la superficie de tratamiento (7) es de construcción estacionaria.
9. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 8, en el que la superficie de tratamiento (7) es a lo sumo 4 mm y preferiblemente a lo sumo 3 mm más ancha que el objeto plano (1) .
10. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 9, en el que la zona de descarga (3) está constituida por taladros o está configurada como una canaleta de descarga, como un listón agujereado o como una abertura a manera de rejilla.
11. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 10, en el que el dispositivo comprende también una succión activa de líquido (F) desde la zona de descarga (3) .
12. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 11, que comprende también unos medios para generar una fuerza de avance (V) actuante sobre el objeto plano (1) .
13. Dispositivo según la reivindicación 12, en el que la fuerza de avance (V) se proporciona a través de aberturas de paso inclinadas (6) de la zona (2) de ataque de corriente de la superficie de tratamiento (7) .
14. Dispositivo según la reivindicación 13, en el que las aberturas de paso (6) están configuradas como variables en su inclinación y/o su sección transversal.
15. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 12 a 14, en el que la fuerza de avance (V) es proporcionada adicional o exclusivamente por un equipo de avance mecánicamente actuante (4) .
16. Dispositivo según la reivindicación 15, en el que el equipo de avance (4) comprende un medio de accionamiento
(4’) que se selecciona del grupo consistente en correas dentadas, cadenas de eslabones, cilindros neumáticos y bombas de fluido, y comprende al menos un medio de avance (4’’) que se selecciona del grupo constituido por topes mecánicos, levas, nervios, clavijas y listones de fondo rascador, actuando el medio de avance (4’’) preferiblemente en cada caso solamente sobre el canto del objeto plano (1) que es perpendicular a la dirección de transporte (T) .
17. Dispositivo según la reivindicación 15 ó 16, en el que el equipo de avance (4) está configurado de tal manera que puede ser accionado en la dirección de transporte (T) y detenido adicionalmente en caso de que se desee.
18. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 17, en el que la al menos una superficie de tratamiento (7) y/o la al menos una zona de descarga (3) pueden subdividirse en segmentos individuales con límites (9) entre segmentos, estando dispuestos en los límites (9) entre segmentos unos equipos para detener el objeto plano (1) .
19. Dispositivo según la reivindicación 18, en el que los equipos de detención están configurados como canaletas de descarga cerradizas, cantos de desbordamiento descendibles o listones agujereados descendibles y/o cerradizos.
20. Dispositivo según cualquiera de las reivindicaciones 6 a 19, en el que está dispuesta adicionalmente al menos una superficie de tratamiento (7) por encima del objeto plano (1) .
Fiq. 3
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