Aplicador de plasma de microondas con uniformidad de potencia mejorada.
Un aparato (200,200A) para generar plasma, que comprende:
un tubo de descarga de plasma (250A) sustancialmente transparente a la energía de microondas,
el tubo de descarga de plasma que tiene un eje longitudinal (151); una bobina conductora (160) enrollada alrededor de una superficie externa del tubo de descarga de plasma, la bobina conductora que comprende un material eléctricamente conductor;
una cavidad de microondas (252A) que rodea el tubo de descarga de plasma, una guía de ondas (272, 372) acoplada a la cavidad de microondas para guiar la energía de microondas hacia el tubo de descarga de plasma de manera que el plasma se genere en el tubo de descarga de plasma, la guía de ondas que tiene una sección transversal rectangular que define un lado más estrecho de la sección transversal rectangular y un lado más ancho de la sección transversal rectangular, un primer eje de sección transversal (170) de la sección transversal rectangular que es paralelo al lado más ancho de la sección transversal rectangular y un segundo eje de sección transversal (271) de la sección transversal rectangular que es paralelo al lado más estrecho de la sección transversal rectangular, la guía de ondas (272, 372) que se dispone de manera que el segundo eje de sección transversal (271), y por lo tanto, el campo eléctrico de microondas en uso forma un ángulo predeterminado con respecto al eje longitudinal del tubo de descarga de plasma de manera que, en uso, el campo eléctrico de microondas induce una corriente eléctrica en la bobina conductora, la corriente eléctrica que afecta la absorción de energía en el tubo de descarga de plasma, caracterizado porque el ángulo predeterminado puede seleccionarse de manera que la absorción de energía en el tubo de descarga de plasma es de acuerdo con un perfil predeterminado con respecto al eje longitudinal del tubo de descarga de plasma; y
mediante un actuador (318A, 318B) para recibir una señal para ajustar el ángulo predeterminado mediante la rotación de la guía de ondas alrededor del eje longitudinal de la guía de ondas.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2015/021382.
Solicitante: MKS Instruments, Inc.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.
Inventor/es: CHEN, XING, JI,CHENGXIANG, MADDEN,ERIN, POKIDOV,ILYA, WENZEL,KEVIN W.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H05H1/46 ELECTRICIDAD. › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › utilizando campos electromagnéticos aplicados, p. ej. energía a alta frecuencia o en forma de microondas (H05H 1/26 tiene prioridad).
PDF original: ES-2768714_T3.pdf
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