Aparato de procesamiento PVD y método de procesamiento PVD.

Un aparato de procesamiento PVD (1) para realizar la formación de revestimiento sobre superficies respectivas de una pluralidad de sustratos (W),

el aparato de procesamiento PVD (1) comprendiendo:

una cámara de vacío (2) conteniendo en su interior la pluralidad de sustratos (W);

una mesa giratoria (3) provista en la cámara de vacío (2) y configurada para soportar la pluralidad de sustratos (W) y para hacer girar los sustratos soportados (W) alrededor de un eje de revolución (7);

una pluralidad de mesas rotatorias (4) configuradas para soportar los sustratos respectivos (W) de la pluralidad de sustratos (W) y rotar los sustratos soportados (W), sobre la mesa giratoria (3), sobre sus respectivos ejes de rotación paralelos al eje de revolución (7); y

una pluralidad de objetivos (5) formados por diferentes tipos respectivos de materiales de formación de revestimiento, los objetivos dispuestos en posiciones respectivas espaciadas en la circunferencia en el exterior radial de la mesa giratoria (3);

caracterizado por

un mecanismo de rotación de la mesa (6) para rotar cada una de las mesas rotatorias (4) sobre su eje de rotación, el mecanismo de rotación de la mesa (6) configurado para rotar la mesa rotatoria, sobre el cual se coloca el sustrato (W), sobre su eje de rotación en un ángulo de 180° o más con respecto a la mesa giratoria (3) mientras el sustrato (W) pasa a través de una región entre dos líneas tangentes (L1, L2) dibujadas desde un centro de cada uno de los objetivos (5) hasta un arco (13) que envuelve las mesas rotatorias (4), en donde los respectivos sustratos (W) son miembros cilíndricos, cónicos o en forma de disco.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/JP2014/001143.

Solicitante: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.).

Nacionalidad solicitante: Japón.

Dirección: 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku Kobe-shi, Hyogo 651-8585 JAPON.

Inventor/es: FUJII,HIROFUMI.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/50 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Portasustrato.

PDF original: ES-2727323_T3.pdf

 

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