Aparato de procesamiento PVD y método de procesamiento PVD.
Un aparato de procesamiento PVD (1) para realizar la formación de revestimiento sobre superficies respectivas de una pluralidad de sustratos (W),
el aparato de procesamiento PVD (1) comprendiendo:
una cámara de vacío (2) conteniendo en su interior la pluralidad de sustratos (W);
una mesa giratoria (3) provista en la cámara de vacío (2) y configurada para soportar la pluralidad de sustratos (W) y para hacer girar los sustratos soportados (W) alrededor de un eje de revolución (7);
una pluralidad de mesas rotatorias (4) configuradas para soportar los sustratos respectivos (W) de la pluralidad de sustratos (W) y rotar los sustratos soportados (W), sobre la mesa giratoria (3), sobre sus respectivos ejes de rotación paralelos al eje de revolución (7); y
una pluralidad de objetivos (5) formados por diferentes tipos respectivos de materiales de formación de revestimiento, los objetivos dispuestos en posiciones respectivas espaciadas en la circunferencia en el exterior radial de la mesa giratoria (3);
caracterizado por
un mecanismo de rotación de la mesa (6) para rotar cada una de las mesas rotatorias (4) sobre su eje de rotación, el mecanismo de rotación de la mesa (6) configurado para rotar la mesa rotatoria, sobre el cual se coloca el sustrato (W), sobre su eje de rotación en un ángulo de 180° o más con respecto a la mesa giratoria (3) mientras el sustrato (W) pasa a través de una región entre dos líneas tangentes (L1, L2) dibujadas desde un centro de cada uno de los objetivos (5) hasta un arco (13) que envuelve las mesas rotatorias (4), en donde los respectivos sustratos (W) son miembros cilíndricos, cónicos o en forma de disco.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/JP2014/001143.
Solicitante: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.).
Nacionalidad solicitante: Japón.
Dirección: 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku Kobe-shi, Hyogo 651-8585 JAPON.
Inventor/es: FUJII,HIROFUMI.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/50 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Portasustrato.
PDF original: ES-2727323_T3.pdf
Patentes similares o relacionadas:
Portasustratos portador de un sustrato en cada uno de sus dos lados anchos que miran uno hacia fuera de otro, del 16 de Octubre de 2019, de AIXTRON SE: Portasustratos para disponerlo en un reactor CVD o PVD , especialmente para la deposición de nanotubos de carbono y grafeno, con una primera superficie […]
Sistema y método de deposición de vapor, del 4 de Septiembre de 2019, de Quantum Innovations, Inc: Un sistema de deposición , que comprende: una carcasa del sistema que tiene un armazón de la carcasa, unos paneles de la carcasa […]
Conjuntos de metalizador en línea y sistemas de transportador de recubrimiento de piezas que incorporan los mismos, del 24 de Julio de 2019, de Marca Machinery LLC: Un conjunto de metalizador en línea que comprende:
una pluralidad de portapiezas , cada uno adaptado para contener una pluralidad […]
Accesorios que comprenden medios magnéticos para sostener piezas de trabajo simétricas rotatorias, del 12 de Marzo de 2019, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Un sistema de accesorio que comprende varias partes, siendo al menos una de las partes una pieza de sujeción para sujetar una pieza de trabajo que […]
Herramientas de alto rendimiento que exhiben desgaste del cráter reducido en particular por las operaciones de maquinado en seco, del 28 de Febrero de 2019, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Sistema de recubrimiento depositado sobre una superficie de un sustrato que comprende al menos una película de varias capas formada de nanocapas […]
Dispositivo de soporte para sustratos, así como procedimiento para el revestimiento de un sustrato, del 27 de Febrero de 2019, de FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.: Dispositivo de soporte para sustratos a revestir que comprende un dispositivo de apoyo para el sustrato a revestir, que presenta una […]
Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos y dispositivo de producción para ello, del 13 de Febrero de 2019, de The Batteries spólka z ograniczona odpowiedzialnoscia: Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos, según el cual - los sustratos se disponen sobre soportes de sustratos , […]
DIANA DE PULVERIZACIÓN CATÓDICA CON CAPA DE PULVERIZACIÓN CATÓDICA LENTA BAJO EL MATERIAL DIANA, del 14 de Diciembre de 2011, de GUARDIAN INDUSTRIES CORP.: Una diana de pulverización catódica que comprende: un tubo catódico giratorio que aloja por lo menos un imán en el mismo; una capa de material diana que comprende […]