Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos y dispositivo de producción para ello.

Procedimiento para la aplicación de capas delgadas sobre sustratos,

según el cual

- los sustratos se disponen sobre soportes de sustratos (22), que están instalados respectivamente en un carro (2) y están montados de modo que circulan a través de las cámaras de proceso (17) en un orden determinado, y

- los soportes de sustratos (22) se conducen a través de las cámaras de proceso (17) según el orden, en donde se realiza el revestimiento en las cámaras de proceso (17) con ayuda de dispositivos de proceso incorporados en ellas, y

- en donde los soportes de sustratos están configurados en forma de tambores giratorios,

- en donde los tambores giratorios se conducen a este respecto a través de campos de tratamiento de los dispositivos de proceso en paralelo al eje de giro de los tambores de giro y durante el paso a través de las cámaras de proceso (17) se giran con velocidades lineales y angulares constantes,

caracterizado por que

- los soportes de sustratos (22) se aceleran respectivamente mediante un accionamiento externo (24) en al menos una cámara de esclusa (13, 14) a la velocidad angular requerida con el carro inmóvil (2) y prosiguen su giro en marcha por inercia,

- porque cada carro (2) está equipado de un motor de baja tensión para el giro del soporte de sustrato, que se alimentan a través de los rodillos de un sistema de transporte o a través de los rodillos de contacto individuales y guías lineales del carro (2), que están aislados de una carcasa del carro, y

- porque la relación de velocidad lineal y angular se selecciona debido a una condición de que cada punto de la superficie de tambor giratorio

- realiza al menos dos vueltas completas durante el paso a través de los campos de tratamiento del dispositivo de proceso (17).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/RU2014/000010.

Solicitante: The Batteries spólka z ograniczona odpowiedzialnoscia.

Inventor/es: KHISAMOV,AYRAT KHAMITOVICH.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/24 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Evaporación en vacío.
  • C23C14/50 C23C 14/00 […] › Portasustrato.
  • C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
  • C23C4/00 C23C […] › Revestimiento por pulverización del material de revestimiento en estado fundido, p. ej. por pulverización a la llama, con plasma o por descarga eléctrica (soldadura de recarga B23K, p. ej. B23K 5/18, B23K 9/04; pistolas de pulverización B05B; fabricación de aleaciones que contienen fibras o filamentos mediante proyección térmica de metal C22C 47/16; pistolas de plasma H05H).

PDF original: ES-2699888_T3.pdf

 

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