Método para la deposición de películas de óxidos mixtos sobre sustratos de material compuesto.

Un método para la deposición de una película de óxido mixto sobre un sustrato de material compuesto,

que comprende una etapa de evaporación-deposición de un óxido mixto, en la que se envía un haz de electrones sobre un objetivo de un óxido mixto que tiene la misma composición estequiométrica que la película a depositar, de modo que provoque la evaporación del material desde el objetivo y la deposición del material evaporado sobre un sustrato fabricado de material compuesto; estando el método caracterizado por que la etapa de evaporación-deposición se lleva a cabo con una tasa de deposición, medida sobre el sustrato, creciente durante dicha etapa de evaporación-deposición.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E14199052.

Solicitante: EDISON S.P.A.

Nacionalidad solicitante: Italia.

Dirección: Foro Buonaparte 31 20121 Milano ITALIA.

Inventor/es: BINDI,MASSIMILIANO.

Fecha de Publicación: 9 de Noviembre de 2016.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/08 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
C23C14/30 C23C 14/00 […] › por bombardeo de electrones.
C23C14/54 C23C 14/00 […] › Control o regulación de los procesos de revestimiento.
C23C14/58 C23C 14/00 […] › Tratamiento posterior.
H01M4/88 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01M PROCEDIMIENTOS O MEDIOS, p. ej. BATERÍAS, PARA LA CONVERSION DIRECTA DE LA ENERGIA QUIMICA EN ENERGIA ELECTRICA. › H01M 4/00 Electrodos. › Procesos de fabricación.
H01M4/90 H01M 4/00 […] › Empleo de material catalítico específico.
H01M8/1213 H01M […] › H01M 8/00 Pilas de combustible; Su fabricación. › caracterizadas por la combinación electrodo/electrolito o por el material del soporte.
H01M8/124 H01M 8/00 […] › caracterizadas por el proceso de fabricación o por el material que constituye el electrolito.
H01M8/1246 H01M 8/00 […] › el electrolito está formado por óxidos.

PDF original: ES-2605884_T3.pdf

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