ELEMENTO FUNGIBLE PARA BOMBARDEO CON PARTÍCULAS, CONJUNTO DE DISPOSITIVO DE BOMBARDEO CON PARTÍCULAS Y ELEMENTO FUNGIBLE Y PROCEDIMIENTO DE DETERMINACIÓN DEL PATRÓN DE GRABADO POR BOMBARDEO DE PARTÍCULAS DE UN BLANCO.

Elemento fungible (1) provisto de un blanco (2) para bombardeo con partículas destinado a realizar deposición física de capa delgada en fase vapor sobre un sustrato (3),

comprendiendo el elemento fungible (1) una capa de base (4) sobre la que está depositado el blanco (2), estando el blanco destinado a ser pulverizado por el bombardeo con partículas, en el que el blanco está constituido por al menos una capa (21 ) en la que se define una pluralidad de zonas (xi, yi) con espesor promedio (ej(xi, yi)) variable entre las zonas (xi, yi), estando los espesores promedio (ej(xi, yi)) de cada zona (xi, yi) dimensionados para que, en unas condiciones de bombardeo determinadas, todas las zonas (xi, yi) tengan un tiempo de pulverización iónica idéntico (tj). La invención también se refiere a un conjunto de dispositivo de bombardeo con partículas (5) y elemento fungible (1) y a un procedimiento para la obtención del fungible (1).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/ES2016/070220.

Solicitante: ADVANCED NANOTECHNOLOGIES S.L.

Nacionalidad solicitante: España.

Inventor/es: BERTRAN SERRA,ENRIC, AMADE ROVIRA,Roger.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/28 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › por energía electromagnética o por radiación corpuscular (C23C 14/32 - C23C 14/48 tienen prioridad).
  • C23C14/34 C23C 14/00 […] › Pulverización catódica.

Patentes similares o relacionadas:

Recubrimiento de alto rendimiento para formación de metal en frío de acero de alta resistencia, del 22 de Abril de 2019, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Recubrimiento depositado sobre una superficie de sustrato de una herramienta de formación de metal o miembro de formación de metal para conformado en […]

Aparato de pulverización que incluye un cátodo con objetivos rotatorios, y método relacionado, del 4 de Abril de 2019, de Guardian Europe S.à.r.l: Un aparato de pulverización catódica para recubrir por pulverización catódica, un artículo en un entorno reactivo, que comprende: una cámara de vacío […]

Vaina de combustible nuclear de material compuesto, procedimiento de fabricación y utilizaciones frente a la oxidación/hidruración, del 3 de Abril de 2019, de COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES: Vaina de combustible nuclear de material compuesto que comprende i) un sustrato que contiene una capa interna a base de circonio y al menos una capa de separación […]

Vainas de combustible nuclear, procedimiento de fabricación y usos contra la oxidación/hidruración, del 21 de Marzo de 2019, de COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES: Procedimiento de fabricación de una vaina de combustible nuclear que comprende i) un sustrato que contiene una capa interna a base de circonio […]

Método de deposición de vapores químicos activado por plasma y aparato para el mismo, del 20 de Marzo de 2019, de Plasmatrix Materials AB: Un método de deposición de vapores químicos activada plasmáticamente que comprende las etapas de: - proporcionar un recipiente de vacío que tiene una presión […]

Proceso de pulverización catódica reactiva, del 14 de Marzo de 2019, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Procedimiento para la pulverización catódica reactiva en el que mediante bombardeo de iones se expulsa golpeando material de la superficie de un primer blanco y […]

Herramientas de alto rendimiento que exhiben desgaste del cráter reducido en particular por las operaciones de maquinado en seco, del 28 de Febrero de 2019, de Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon: Sistema de recubrimiento depositado sobre una superficie de un sustrato que comprende al menos una película de varias capas formada de nanocapas […]

Herramienta revestida de TiAlN, del 20 de Febrero de 2019, de WALTER AG: Herramienta con un cuerpo base hecho de metal duro, cermet, cerámica, acero o acero de alta velocidad y un revestimiento protector contra el desgaste […]

Otras patentes de la CIP C23C14/34