Método para habilitar la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas desde al menos unafuente de luz (LS) hasta al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP),

en el que una intensidad luminosa resultantede la fuente de luz (LS) es un modo de onda sustancialmente continua (cw) y comprende variaciones de intensidaden el tiempo en forma de picos de intensidad sustancialmente periódicos, controlándose dicha transmisión medianteal menos una disposición de iluminación (1), y comprendiendo dicho método el establecimiento de una correlaciónentre dichas variaciones de intensidad y al menos una característica de dicha disposición de iluminación, por lo cualdicha al menos una disposición de iluminación (1) y dichos al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) sedesplazan entre sí, y por lo cual dicha al menos una característica de dicha disposición de iluminación comprendecaracterísticas de dicho movimiento relativo y por lo cual dicho establecimiento de una correlación comprendeadaptar dichas características de dicho movimiento relativo de manera sincronizada con dichas variaciones deintensidad en el tiempo y/o donde dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dichas variacionesde intensidad en el tiempo de manera sincronizada con dichas características de dicho movimiento relativo,caracterizado porque dicho sincronismo entre dichas variaciones de intensidad y dichas características de dichomovimiento relativo comprende que se produzca un número entero de dichos picos de intensidad periódicos durantela iluminación de cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz.

Método para habilitar la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas

5 Campo de la invención

La presente invención se refiere a habilitar la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas a al menos dos puntos sensibles a la luz, en el contexto de disposiciones de iluminación que comprenden fuentes de luz de intensidad variable.

Antecedentes de la invención

En varios campos técnicos, la iluminación es o bien el fin principal o bien se utiliza como una herramienta para obtener resultados deseados. Las aplicaciones comprenden, por ejemplo, proyección de imágenes y películas, fotolitografía, aplicaciones de ordenador a plancha, serigrafía, otras aplicaciones fotográficas tales como la producción de placas de circuitos impresos, etc., fotólisis, prototipado rápido, fabricación rápida, comunicación y muchas otras.

Existen muchas categorías y tipos de fuentes de luz con fines de iluminación, las cuales se fabrican con diferentes fines específicos y que normalmente no pueden satisfacer otras necesidades. Objetivos de interés pueden ser la potencia nominal, la eficacia luminosa, la estabilidad de la intensidad luminosa, la precisión del punto de emisión, la reproducción de los colores, etc. Por ejemplo, las lámparas de arco corto, es decir, lámparas de descarga de alta presión, se utilizan en muchas aplicaciones debido a que pueden ofrecer una alta potencia nominal, una alta eficacia luminosa, una excelente reproducción de los colores y un punto de emisión muy pequeño. Desafortunadamente, su fabricación provoca el desplazamiento de material de los electrodos, haciendo que sus tensiones nominales cambien durante el uso, su vida útil se reduzca y que el punto de emisión, es decir, el arco, fluctúe. Estos problemas son ampliamente conocidos en la técnica y son afrontados de varias maneras, algunas de las cuales incluyen el uso de corriente de excitación alterna y/o de picos de corriente frecuentes. Otras soluciones generan nuevos problemas y, en el ejemplo de las lámparas de arco corto, los picos de corriente provocan que la intensidad luminosa emitida fluctúe.

De las aplicaciones de iluminación mencionadas anteriormente, algunas utilizan fuentes de luz que establecen haces de luz que tienen una intensidad luminosa fluctuante y/o un punto de emisión fluctuante, ya sea porque se utilizan intencionadamente en productos de baja calidad o porque puede considerarse que las fluctuaciones son insignificantes para un uso específico. Por ejemplo, para la utilización en proyectores de cine, una intensidad luminosa ligeramente fluctuante puede ser aceptable ya que el haz de luz se utiliza para iluminar la misma zona constantemente, por cuya razón el ojo humano no puede percibir los cambios y, además, las imágenes proyectadas cambian a gran velocidad. Sin embargo, tales fluctuaciones no pueden ser aceptables para usos específicos de un proyector de alta calidad.

En campos como, por ejemplo, la fotolitografía y otras técnicas en las que la región que queda expuesta sólo se ilumina poco a poco, las fluctuaciones de la intensidad luminosa pueden considerarse inaceptables. Esto se debe a que las diferentes regiones del medio expuesto, por ejemplo una plancha de impresión, se iluminan por turnos, lo que hace posible que una región se ilumine con un nivel de intensidad y la región adyacente se ilumine con otro.

45 Esto puede provocar que el resultado parezca incoherente, y la probable periodicidad de los cambios de intensidad puede provocar incluso que se generen rayas u otros patrones periódicos visibles.

Uno de los diversos objetos de la presente invención es establecer medios de compensación para facilitar el uso de fuentes de luz con intensidad luminosa variable, por ejemplo, lámparas de arco corto con una intensidad adicional en los momentos de máximo suministro, en aplicaciones en las que normalmente solo se utilizan lámparas de intensidad constante.

Uno de los diversos objetos de la presente invención es establecer medios que se adapten a cambios en tiempo real en el nivel en que se producen periódicamente una intensidad luminosa adicional en un haz de luz y facilitar de este 55 modo la compensación con el fin de utilizar tal haz de luz en aplicaciones en las que normalmente solo se utilizan haces de luz de intensidad constante. Uno de los diversos objetos de la presente invención es facilitar una transmisión de luz uniforme mejorada a través de un modulador de luz espacial tal como, por ejemplo, un modulador DMD.

Sumario de la invención

La invención se refiere a un método para habilitar la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas desde al menos una fuente de luz LS hasta al menos dos puntos sensibles a la luz LSP, como se define en las reivindicaciones adjuntas.

65 Según la presente invención, las desventajas de utilizar fuentes de luz de intensidad variable, por ejemplo lámparas de arco corto con una fuente de alimentación con valores pico, pueden superarse y, en una realización preferida, incluso de tal manera que las intensidades pico se utilizan para conseguir una eficiencia óptima.

Según la presente invención, la energía se transmite a puntos sensibles a la luz mediante la acumulación de 5 intensidad de luz en el tiempo. Por tanto, el control de la cantidad de energía comprende básicamente controlar la intensidad y el tiempo de exposición.

La luz que se origina en las fuentes de luz según la presente invención puede comprender intensidades que varían en el tiempo, es decir, centelleos, probablemente a una velocidad no perceptible por el ojo humano, y/o en el espacio, es decir, una distribución de intensidad no uniforme. Un objeto de la presente invención es afrontar de manera particular las desventajas de las variaciones de intensidad que se producen en el tiempo.

Con el fin de habilitar el uso de fuentes de luz con valores pico y de utilizar incluso las variaciones de intensidad, debe haber una correlación entre las variaciones y los medios de control de cantidad de energía. Sin embargo, esta correlación puede establecerse entre las variaciones de intensidad y una o más de diversas características controlables de las disposiciones de iluminación, o la correlación puede establecerse incluso controlando las variaciones de intensidad.

De observarse que los términos ‘disposición de iluminación’ y ‘disposición de modulación de luz’ se utilizan en lo sucesivo para sustancialmente el mismo tipo de medio.

Según la presente invención, las variaciones de intensidad de la fuente de luz comprenden picos de intensidad sustancialmente periódicos, como los que el excitador de lámpara puede provocar intencionadamente con el fin de prolongar la vida útil de la lámpara. Puesto que algunos excitadores de lámpara pueden controlarse, en algunas aplicaciones es posible controlar los picos de intensidad periódicos, pero sigue siendo imposible el poder evitarlos.

Según la presente invención, la disposición de iluminación se desplaza preferentemente con respecto a los puntos sensibles a la luz en una dirección paralela a un plano que comprende los puntos sensibles a la luz, es decir, un medio sensible a la luz. Por tanto, algunas de las diversas características que pueden controlarse para establecer la correlación con los tiempos de valores pico son características del movimiento, por ejemplo la velocidad y la dirección, y también el ancho del esquema de modulación de luz, es decir, el número de moduladores en cada fila.

Cuando dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dichas características de dicho momento relativo de manera sincronizada con dichas variaciones de intensidad en el tiempo, se obtiene una realización ventajosa de la presente invención.

Según la presente invención, las características del movimiento, por ejemplo la velocidad y la dirección, pueden controlarse para establecer la correlación.

Cuando dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dichas variaciones de intensidad en el tiempo de manera sincronizada con dichas características de dicho movimiento relativo, se obtiene una realización ventajosa de la presente invención.

Según la presente invención, las variaciones de intensidad, por ejemplo picos de intensidad periódicos, pueden 45 controlarse para establecer la correlación con las características del movimiento, por ejemplo la velocidad y la dirección.

1. Método para habilitar la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas desde al menos una fuente de luz (LS) hasta al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) , en el que una intensidad luminosa resultante 5 de la fuente de luz (LS) es un modo de onda sustancialmente continua (cw) y comprende variaciones de intensidad en el tiempo en forma de picos de intensidad sustancialmente periódicos, controlándose dicha transmisión mediante al menos una disposición de iluminación (1) , y comprendiendo dicho método el establecimiento de una correlación entre dichas variaciones de intensidad y al menos una característica de dicha disposición de iluminación, por lo cual dicha al menos una disposición de iluminación (1) y dichos al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) se desplazan entre sí, y por lo cual dicha al menos una característica de dicha disposición de iluminación comprende características de dicho movimiento relativo y por lo cual dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dichas características de dicho movimiento relativo de manera sincronizada con dichas variaciones de intensidad en el tiempo y/o donde dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dichas variaciones de intensidad en el tiempo de manera sincronizada con dichas características de dicho movimiento relativo, caracterizado porque dicho sincronismo entre dichas variaciones de intensidad y dichas características de dicho movimiento relativo comprende que se produzca un número entero de dichos picos de intensidad periódicos durante la iluminación de cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz.

2. Método según la reivindicación 1, en el que dicha disposición de iluminación (1) comprende al menos un medio de modulación de luz (3) , y en el que dicha al menos una característica de dicha disposición de iluminación comprende características de dichos medios de modulación de luz.

3. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 y 2, en el que dicho al menos un medio de modulación de luz

(3) comprende al menos un modulador de luz espacial que comprende una pluralidad de moduladores de luz (LM) .

2.

4. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, en el que dicho control de dicha transmisión mediante dicha al menos una disposición de iluminación (1) comprende controlar dichas características de dicho al menos un medio de modulación de luz (3) al menos parcialmente en función de al menos una máscara de modulación (MM) que define los moduladores de luz que van a inhabilitarse.

5. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 4, en el que dicho establecimiento de una correlación comprende adaptar dicha al menos una máscara de modulación (MM) para que dichas características de dicho al menos un medio de modulación de luz (3) se controlen de manera sincronizada con dichas variaciones de intensidad en el tiempo.

3.

6. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 5, en el que dicha adaptación de dicha al menos una máscara de modulación (MM) se lleva a cabo de manera continua.

7. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 6, en el que dicha adaptación de dicha al menos una máscara de modulación (MM) comprende elegir una máscara de modulación predefinida de entre un banco de máscaras de modulación.

8. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, en el que dicha al menos una máscara de modulación (MM) comprende además información de control para evitar una transmisión de energía no uniforme debida a 45 variaciones de intensidad en el espacio provocadas por dichos medios de modulación de luz o por las características ópticas de dicha disposición de iluminación (1) .

9. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 8, en el que dicho establecimiento de una correlación comprende reorganizar dicha información de control en el tiempo.

10. Método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 9, en el que dicho establecimiento de una correlación comprende reorganizar dicha información de control en el espacio.

11. Disposición de iluminación (1) para controlar la transmisión de energía a al menos dos puntos sensibles a la luz

55 (LSP) , en la que dicho control de la transmisión habilita la transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas a cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) , donde dicha disposición de iluminación comprende al menos una fuente de luz (LS) cuya intensidad luminosa resultante es un modo de onda sustancialmente continua (cw) , donde la fuente de luz (LS) está adaptada para emitir luz que comprende variaciones de intensidad sustancialmente periódicas, donde dicha disposición de iluminación comprende al menos un medio de modulación de luz (3) que comprende al menos un medio de modulación de luz espacial, donde dicha transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas a cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) se habilita al menos parcialmente controlando un movimiento relativo entre dicha disposición de iluminación y dichos al menos dos puntos sensibles a la luz, y caracterizada porque dicho control de dicho movimiento relativo comprende sincronizar dicho movimiento relativo con dichas variaciones de intensidad periódicas, de manera que se 65 produce un número entero de dichos picos de intensidad periódicos durante la iluminación de cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz.

12. Disposición de iluminación según la reivindicación 11, en la que dicho al menos un medio de modulación de luz espacial (3) comprende un chip DMD.

13. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 y 12, en la que dicho al menos un medio de modulación de luz espacial (3) comprende un conjunto de obturadores micromecánicos.

14. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 13, en la que dicha transmisión de cantidades de energía prácticamente idénticas a cada uno de dichos al menos dos puntos sensibles a la luz (LSP) 10 se habilita al menos parcialmente controlando dichos medios de modulación de luz (3) .

15. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 14, en la que controlar dicho medio de modulación de luz (3) comprende aplicar al menos una máscara de modulación (MM) .

16. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 15, en la que dicha al menos una máscara de modulación (MM) se establece en función de características de dichas variaciones de intensidad periódicas.

17. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 16, en la que dicha al menos una 20 máscara de modulación (MM) comprende además información de control para tratar desventajas adicionales de dicha disposición de iluminación.

18. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 17, en la que dicho control de dichos medios de modulación de luz (3) comprende reorganizar dicha información de control para tratar desventajas 25 adicionales.

19. Disposición de iluminación según cualquiera de las reivindicaciones 11 a 18, que comprende medios para llevar a cabo un método según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 9.