CAMARA DE EVAPORACION DE MATERIALES BAJO VACIO CON BOMBEO DIFERENCIAL.
Cámara de evaporación de materiales, que comprende una cámara de vacío (10),
una primera unidad de bombeo (13) para bombear dicha cámara y unas fuentes de material, caracterizada porque: - una pared (23) que puede asegurar una estanqueidad total o parcial al vacío, delimita en el seno de la cámara de vacío (10) un primer volumen (25) bombeado por dicha primera unidad de bombeo (13) y un segundo volumen (22) bombeado por una segunda unidad de bombeo (24), - algunas de dichas fuentes de material (17) que tienen un eje principal (18) están dispuestas en el segundo volumen (22) y otras fuentes (21) están dispuestas en el primer volumen (25), - dicha pared (23) presenta unos vaciados (26), estando cada vaciado (26) centrado sobre el eje principal (18) de una de las fuentes de material (17) que tiene un eje principal (18), y porque - la cámara comprende unos medios (27) para obturar o liberar cada uno de dichos vaciados (26), siendo dichos medios (27) controlados individualmente para proteger lasfuentes de material (17) que tienen un eje principal de evaporación (18) no utilizadas.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: RIBER.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 133, BOULEVARD NATIONAL,F-92500 RUEIL-MALMAISON.
Inventor/es: CHAIX,CATHERINE, JARRY,ALAIN BATIMENT C, NUTTE,PIERRE-ANDRE, LOCQUET,JEAN-PIERRE, FOMPEYRINE,JEAN, SIEGWART,HEINZ.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 14 de Noviembre de 2007.
Clasificación PCT:
- C23C14/24 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Evaporación en vacío.
- C30B23/02 C […] › C30 CRECIMIENTO DE CRISTALES. › C30B CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión, p. ej. para la formación de diamantes B01J 3/06 ); SOLIDIFICACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTICOS O SEPARACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTOIDES; AFINAMIENTO DE MATERIALES POR FUSION DE ZONA (afinamiento por fusión de zona de metales o aleaciones C22B ); PRODUCCION DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (colada de metales, colada de otras sustancias por los mismos procedimientos o aparatos B22D; trabajo de materias plásticas B29; modificación de la estructura física de metales o aleaciones C21D, C22F ); MONOCRISTALES O MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA; TRATAMIENTO POSTERIOR DE MONOCRISTALES O DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (para la fabricación de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas H01L ); APARATOS PARA ESTOS EFECTOS. › C30B 23/00 Crecimiento de monocristales por condensación de un material evaporado o sublimado. › Crecimiento de un lecho epitaxial.
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