INSTRUMENTO DE CARACTERIZACION ELECTRICA A ESCALA NANOMETRICA.
Comprende un microscopio de fuerzas atómicas (AFM) que incluye un dispositivo de barrido,
al menos una punta, un soporte para la muestra, y medios de generación de tensión y medición de corriente, y/o generación de corriente y medición de tensión con rango dinámico de medida variable y autoseleccionable, que se conectan a la punta del AFM y/o al soporte de la muestra, los cuales comprenden al menos una unidad de fuente-medida (SMU). Varias SMU pueden formar parte de un instrumento analizador de parámetros de semiconductores (SPA), y el AFM puede ser un microscopio de fuerzas atómicas con punta conductora (CAFM). Se disponen medios de medición simultánea y sincronizada de las propiedades topográficas y eléctricas de la muestra.
Se amplían los órdenes de magnitud de medida de la corriente y se obtiene una elevada flexibilidad en la definición de los ensayos eléctricos, manteniendo la resolución nanométrica en medidas topográficas y eléctricas.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: UNIVERSITAT AUTONOMA DE BARCELONA.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: BARCELONA.
Inventor/es: BLASCO JIMENEZ,FRANCISCO JAV., NAFRIA MAQUEDA,MONTSERRAT, AYMERICH HUMET,FRANCISCO JAV.
Fecha de Solicitud: 1 de Junio de 2004.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 23 de Febrero de 2006.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B7/34 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 7/00 Disposiciones de medida caracterizadas por la utilización de medios eléctricos o magnéticos. › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
- G01N13/16
Clasificación PCT:
- G01B7/34 G01B 7/00 […] › para la medida de la rugosidad o la irregularidad de superficies.
- G01N13/16
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