PROCEDIMIENTO Y APARATO PARA LA TRANSFERENCIA DE UN HAZ DE IONES.
UN METODO Y APARATO PARA MANTENER UN HAZ DE IONES A LO LARGO DE UN CAMINO DE HAZ (14) DESDE UNA FUENTE DE IONES (12) A UNA ESTACION DE IMPLANTACION DE IONES (16) DONDE LAS PIEZAS DE TRABAJO ESTAN TRATADAS CON EL HAZ DE IONES.
UN NEUTRALIZADOR DE HAZ (44) SE POSICIONA ASCENDENTEMENTE DESDE LA ESTACION DE IMPLANTACION DEL HAZ (16) E INYECTA ELECTRONES DE NEUTRALIZACION DENTRO DEL HAZ DE IONES. UN CAMPO MAGNETICO SE CREA ASCENDENTE DESDE LA POSICION DEL NEUTRALIZADOR DEL HAZ PARA INHIBIR EL MOVIMIENTO ASCENDENTE DE ELECTRONES DE NEUTRALIZACION. UNA TECNICA REVELADA PARA ESTABLECER EL CAMPO MAGNETICO PARA INHIBIR EL MOVIMIENTO DE ELECTRONES ESTA CON UN PRIMER Y SEGUNDO IMAN PERMANENTE ESPACIADOS (M1,M2).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE, CLEVELAND, OHIO 44114-2584.
Inventor/es: BENVENISTE, VICTOR MAURICE, CHEN, JIONG, HORSKY, THOMAS NEIL, REYNOLDS, WILLIAM EDWARD.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 24 de Marzo de 2004.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/02 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Detalles.
- H01J37/30 H01J 37/00 […] › Tubos de haz electrónico o iónico para tratamientos localizados de objetos.
- H01J37/317 H01J 37/00 […] › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).
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