CHORRO DE ELECTRONES DE EMISION SECUNDARIA DIFUSA.
UNA IMPLANTACION DE IONES QUE CARACTERIZA UN NEUTRALIZADOR DE HAZ MEJORADO.
UNA FUENTE CILINDRICA DE ELECTRONES RODEA EL HAZ DE IONES EN UNA UBICACION JUSTO ANTES DE QUE EL HAZ DE IONES ENTRE EN UNA CAMARA DE IMPLANTACION. LAS CAVIDADES SEPARADAS DE FORMA REGULAR EN LA FUENTE DE ELECTRONES CONTIENEN FILAMENTOS DE ALAMBRE QUE SE ENERGIZAN PARA QUE EMITAN ELECTRONES. LOS ELECTRONES SE ACELERAN A TRAVES DE LA ZONA DEL HAZ DE IONES Y HACEN IMPACTO EN UNA PARED ORIENTADA HACIA EL INTERIOR DEL SOPORTE CILINDRICO DE ELECTRONES. ESTO PROVOCA EMISIONES DE ELECTRONES DE BAJA ENERGIA QUE NEUTRALIZAN EL HAZ DE IONES. EL RENDIMIENTO DEL NEUTRALIZADOR DEL HAZ SE INCREMENTA INYECTANDO UN GAS IONIZABLE EN LA ZONA SITUADA ENTRE LA SUPERFICIE EMISORA DE ELECTRONES Y EL HAZ DE IONES.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: EATON CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: EATON CENTER, 1111 SUPERIOR AVENUE,CLEVELAND, OHIO 44114-2584.
Inventor/es: BENVENISTE, VICTOR MAURICE.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 27 de Marzo de 1996.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/02 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Detalles.
- H01J37/317 H01J 37/00 […] › para modificar las propiedades de objetos o para aplicarles revestimientos de capa delgada, p. ej. implantación de iones (H01J 37/36 tiene prioridad).
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