TECNICA DE ENCAPSULACION PARA MICROSENSORES DE PRESION ENTRE AMBIENTES HUMEDOS.
Técnica de encapsulación para microsensores de presión entre ambientes húmedos.
La técnica consiste en insertar todo el chip en una silicona. De este modo se evita cualquier unión rígida entre el elemento sensor y la cápsula rígida exterior, con lo que el chip está mecánicamente desacoplado dando lugar a estados de bajo esfuerzo mecánico. La inmersión del chip completo en la silicona proporciona además la encapsulación hermética en el material protector e inerte que aísla los conductores eléctricos, los circuitos, microsoldaduras e hilos de conexión. La utilización de una resina de silicona fotocurable en combinación con procesos fotolitográficos para proteger la parte superior de la superficie del sensor permite además una protección parcial y controlada. Esto hace que el proceso sea especialmente adecuado para la encapsulación de microsensores de silicio ya que permite dejar al descubierto las áreas activas o, sensibles de la parte superior del chip, evitando así cualquier influencia del material de recubrimiento sobre la membrana sensible.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: CONSEJO SUPERIOR INVESTIGACIONES CIENTIFICAS.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: MADRID.
Inventor/es: KRASSOW,HEIKO ELMAR, CAMPABADAL SEGURA,FRANCESCA.
Fecha de Solicitud: 13 de Junio de 1997.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 9 de Junio de 2000.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01L23/28 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01L MEDIDA DE FUERZAS, TENSIONES, PARES, TRABAJO, POTENCIA MECANICA, RENDIMIENTO MECANICO O DE LA PRESION DE LOS FLUIDOS (pesado G01G). › G01L 23/00 Dispositivos o aparatos para la medida o la indicación o el registro de cambios rápidos, tales como oscilaciones, de la presión de vapores, de gases o de líquidos; Indicadores para determinar el trabajo o la energía de motores a vapor, de combustión interna o de otras presiones de fluidos a partir de las condiciones del fluido motor. › Medios de refrigeración.
- G01L7/08 G01L […] › G01L 7/00 Medida de la presión permanente o cuasi-permanente de un fluido o de un material sólido fluyente por elementos mecánicos o hidráulicos sensibles a la presións (transmisión o indicación por medios eléctricos o magnéticos del desplazamiento de los elementos mecánicos sensibles a la presión G01L 9/00; medida de las diferencias entre dos o más valores de la presión G01L 13/00; medida simultánea de dos o más valores de la presión G01L 15/00). › del tipo de diafragma elástico.
Patentes similares o relacionadas:
Dispositivo sensor para la detección de al menos una propiedad de un medio fluido, del 23 de Octubre de 2019, de ROBERT BOSCH GMBH: Dispositivo sensor para la deteccion de al menos una propiedad de un medio fluido, comprendiendo al menos un primer elemento sensor […]
Indicador de presión, del 18 de Septiembre de 2019, de Ambu A/S: Un indicador de presión que comprende una base , una membrana deformable fijada a la base de manera hermética a los fluidos a lo largo […]
Ensamblaje de diafragmas para un sensor de presión, y un sensor de presión provisto de tal ensamblaje, del 1 de Junio de 2016, de Badotherm Proces Instrumentatie B.V: Ensamblaje de diafragmas para un sensor de presión, que comprende un ensamblaje multicapa de: - un diafragma externo impermeable ; - un […]
Sistema y método de detección de presión, del 27 de Abril de 2016, de CAREFUSION 303, INC: Una casete desechable (102A) configurada para unirse a una bomba de suministro de fluido, comprendiendo la casete: una cámara de bombeo que tiene una pared , […]
Bomba dosificadora de líquido, y dispositivo detector de la variación de presión para tal bomba, del 16 de Febrero de 2016, de DOSATRON INTERNATIONAL: Bomba dosificadora de líquido que incluye una boquilla de aspiración provista de una válvula de aspiración que comunica con una cámara de trabajo en la que un […]
Membrana de sensor, del 1 de Julio de 2013, de KISTLER HOLDING AG: Membrana del sensor, particularmente para un sensor de fuerza o de presión que está delimitado por un borde exterior y un borde interior , donde […]
DISPOSITIVO DE MEDIDA DE CAMBIOS DE PRESION., del 16 de Septiembre de 2004, de WELCH ALLYN, INC.: Un dispositivo sensible a la presión, que comprende: una caja (12, 12B) que tiene una cavidad interior ; una placa de soporte (28, 28B) dispuesta en dicha cavidad […]
PROCEDIMIENTO PARA LA UNION HERMETICA AL AIRE DE DOS MEMBRANAS., del 1 de Julio de 2004, de FRESENIUS MEDICAL CARE DEUTSCHLAND GMBH: LA PRESENTE INVENCION SE REFIERE A UN PROCEDIMIENTO PARA UNION ESTANCA AL AIRE DE DOS MEMBRANAS. UNA UNION COMPLETA Y ESTANCA AL AIRE DE DOS MEMBRANAS SE […]