TECNICA DE ENCAPSULACION PARA MICROSENSORES DE PRESION ENTRE AMBIENTES HUMEDOS.
(16/08/2000) Técnica de encapsulación para microsensores de presión entre ambientes húmedos. La técnica consiste en insertar todo el chip en una silicona. De este modo se evita cualquier unión rígida entre el elemento sensor y la cápsula rígida exterior, con lo que el chip está mecánicamente desacoplado dando lugar a estados de bajo esfuerzo mecánico. La inmersión del chip completo en la silicona proporciona además la encapsulación hermética en el material protector e inerte que aísla los conductores eléctricos, los circuitos, microsoldaduras e hilos de conexión. La utilización de una resina de silicona fotocurable en combinación con procesos fotolitográficos para proteger la parte superior de la superficie del sensor…