PROCEDIMIENTO Y DIRECTRICES PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUSTRATOS MEDIANTE UN CATODO DE MAGNETRON.
POR UN PROCEDIMIENTO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUSTRATOS MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA SE UTILIZA UN CATODO DE MAGNETRON CON UNA RODELA CERRADA EN FORMA DE ANILLO (9).
LA SUPERFICIE DE PULVERIZACION (9A) DE ESTA RODELA POSEE UN REBORDE INTERIOR (9C) Y UN REBORDE EXTERIOR (9D). EL SISTEMA MAGNETICO CORRESPONDIENTE (7) CONSTA DE UN PRIMER POLO (7C), EN EL INTERIOR DEL REBORDE INTERIOR Y UN SEGUNDO POLO (7D) QUE ESTA DISPUESTO EN EL EXTERIOR DEL REBORDE EXTERIOR. EL TRANSCURSO DEL POLO ES IDENTICO GEOMETRICAMENTE AL TRANSCURSO DEL REBORDE DE LA RODELA. POR ELLO, SOBRE LA SUPERFICIE DE PULVERIZACION SE GENERA UN TUNEL MAGNETICO CERRADO SOBRE EL PERIMETRO, CUYAS LINEAS DE CAMPO IMPORTANTES PARA LA INCLUSION DEL PLASMA DISCURREN SOLO DEBILMENTE DOBLADAS. CON ELLO, PARA ALCANZAR UN BUEN RENDIMIENTO DEL MATERIAL EN ALTAS TASAS DE CHISPORROTEO Y POR ELLO UN ALTO ESPESOR DE PLASMA EN LOS SUSTRATOS, EL TRANSCURSO INTERIOR DE LAS LINEAS DE CAMPO MAGNETICO SE DEFORMA EN EL MODO APUNTADO, QUE EL MARGEN MAXIMO DE LA EROSION DE LA RODELA SE ALARGA EN AUSENCIA DE CAMPOS MAGNETICOS EN LA PROXIMIDAD DEL REBORDE EXTERIOR (9D) DE LA RODELA (9). UN CARRETE DEL ELECTROIMAN DISPUESTO (26) ES IMPULSADO CON UN VALOR MEDIO TEMPORAL DE UNA CORRIENTE DE EXCITACION, MEDIANTE LA EROSION DE LA RODELA DE LA ZONA MAXIMA SE ALARGA APROXIMADAMENTE EN LA MITAD, ENTRE AMBOS REBORDES DE LA RODELA. MEDIANTE CAMBIOS PERIODICOS DE ESTE VALOR MEDIO DE LA CORRIENTE DE EXCITACION SE ALARGA LA ZONA MAXIMA DE LA EROSION DE LA RODELA PERIODICAMENTE SOBRE LA CAPA MEDIA A AMBOS LADOS.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25, POSTFACH 1555,D-63450 HANAU.
Inventor/es: BEISSWENGER, SIEGFRIED, KUKLA, REINER, DIPL.-PHYS., FRITSCHE, WOLF-ECKART, DIPL.-ING., LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR.-PHYS.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 28 de Diciembre de 1994.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
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