PROCEDIMIENTO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS.

DISPOSITIVO (FIGURA 2) PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS (31,

31', ...) EN UNA CAMARA (2) DE VACIO CON UN PORTASUBSTRATOS (30) ALOJADO EN ELLA, CON UN DISPOSITIVO (29) PARA GENERAR UNA NUBE (28) DE PLASMA Y CON IMANES (26, 27), QUE DESVIAN LA NUBE (28) DE PLASMA HACIA LA SUPERFICIE DE LOS SUBSTRATOS (31, 31', ...). EL DISPOSITIVO (29) PARA GENERAR LA NUBE (28) DE PLASMA POSEE UN EMISOR (11) DE ELECTRONES CON UN ANODO (38) TUBULAR SITUADO DETRAS PROVISTO DE UNA ENTRADA (10) PARA EL GAS DE PROCESO PARA LA IGNICION DEL PLASMA. PARA LA ORIENTACION Y LA CONDUCCION DEL PLASMA A TRAVES DEL ANODO (38) TUBULAR HACIA LA CAMARA (43) DE PROCESO SE PREVEN IMANES (4, 7). EN LA CAMARA (43) DE PROCESO SE PREVE INMEDIATAMENTE JUNTO A LA FUENTE (29) DE PLASMA UN DISPOSITIVO PARA GENERAR ATOMOS, MOLECULAS O AGLOMERADOS DE MATERIALES PARA GENERAR LA CAPA SOBRE LOS SUBSTRATOS (31, 31', ...), CON PREFERENCIA UN VAPORIZADOR (37) DE CHORRO DE ELECTRONES. EL MATERIAL (33) VAPORIZADO O PULVERIZADO POR EL SE PUEDE APLICAR DIRECTAMENTE SOBRE LOS SUBSTRATOS (31, 31', ...), AL MISMO TIEMPO, QUE, POR APLICACION DE UNA DIFERENCIA DE POTENCIAL ENTRE LA FUENTE (29) DE PLASMA Y LA CAMARA (2) DE VACIO SE PUEDE CREAR UN PLASMA ADICIONAL ENTRE EL CRISOL (45) DEL VAPORIZADOR (37) DE CHORRO DE ELECTRONES Y EL ANODO (38) TUBULAR DE LA FUENTE (29) DE PLASMA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25, POSTFACH 1555,D-63450 HANAU.

Inventor/es: BETZ, HANS-GEORG, DR., CAMPBELL, GREGOR A., CONN, ROBERT W., MATL, KARL, DR., SOMMERKAMP, PETER, DR., ZOELLER, ALFONS, GOEBEL, DAN M.

Fecha de Publicación: 1 de Febrero de 1995.

Fecha Concesión Europea: 7 de Diciembre de 1994.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/32 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
C23C14/50 C23C 14/00 […] › Portasustrato.
H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
H05H1/50 H […] › H05 TECNICAS ELECTRICAS NO PREVISTAS EN OTRO LUGAR. › H05H TECNICA DEL PLASMA (tubos de haz iónico H01J 27/00; generadores magnetohidrodinámicos H02K 44/08; producción de rayos X utilizando la generación de un plasma H05G 2/00 ); PRODUCCION DE PARTICULAS ACELERADAS ELECTRICAMENTE CARGADAS O DE NEUTRONES (obtención de neutrones a partir de fuentes radiactivas G21, p. ej. G21B, G21C, G21G ); PRODUCCION O ACELERACION DE HACES MOLECULARES O ATOMICOS NEUTROS (relojes atómicos G04F 5/14; dispositivos que utilizan la emisión estimulada H01S; regulación de la frecuencia por comparación con una frecuencia de referencia determinada por los niveles de energía de moléculas, de átomos o de partículas subatómicas H03L 7/26). › H05H 1/00 Producción del plasma; Manipulación del plasma (aplicación de la técnica del plasma a reactores de fusión termonuclear G21B 1/00). › y utilizando campos magnéticos aplicados, p. ej. para enfocar o para hacer girar el arco.

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