FUENTE DE REACTIVO PARA EMISION DE RAYO MOLECULAR.
UN CONJUNTO FUENTE ADAPTADO PARA SUMINISTRAR UNO O MAS COMPUESTOS ORGANOMETALICOS EN UNA CAMARA DE REACCION MBE DONDE EL CONJUNTO FUENTE COMPRENDE UN COLECTOR MEZCLADOR QUE TIENE UNA O MAS CONEXIONES DE ENTRADA PARA SUMINISTRAR LOS COMPUESTOS ORGANOMETALICOS.
CADA CONEXION DE ENTRADA INCLUYE UNA PROPORCION DE FLUJO DE VAPOR DEL COMPUESTO ORGANOMETALICO BAJO GRADIENTE DE PRESION PREDETERMINADO Y UNA VALVULA PARA/NO PASA PARA SELECCIONAR EL ESTADO DE FUNCIONAMIENTO DE LA FUENTE. PREFERENTEMENTE EL COLECTOR MEZCLADOR ACTUA COMO UN COLIMADOR QUE EVITA LA NECESIDAD DE MONTAR UN SUSTRATO ROTATIVO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BRITISH TELECOMMUNICATIONS PUBLIC LIMITED COMPANY.
Nacionalidad solicitante: Reino Unido.
Dirección: 81 NEWGATE STREET, LONDON EC1A 7AJ.
Inventor/es: TUPPEN, CHRISTOPHER GEORGE, ANDREWS, DAVID ARTHUR.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 5 de Junio de 1991.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C30B25/14 QUIMICA; METALURGIA. › C30 CRECIMIENTO DE CRISTALES. › C30B CRECIMIENTO DE MONOCRISTALES (por sobrepresión, p. ej. para la formación de diamantes B01J 3/06 ); SOLIDIFICACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTICOS O SEPARACION UNIDIRECCIONAL DE MATERIALES EUTECTOIDES; AFINAMIENTO DE MATERIALES POR FUSION DE ZONA (afinamiento por fusión de zona de metales o aleaciones C22B ); PRODUCCION DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (colada de metales, colada de otras sustancias por los mismos procedimientos o aparatos B22D; trabajo de materias plásticas B29; modificación de la estructura física de metales o aleaciones C21D, C22F ); MONOCRISTALES O MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA; TRATAMIENTO POSTERIOR DE MONOCRISTALES O DE MATERIALES POLICRISTALINOS HOMOGENEOS DE ESTRUCTURA DETERMINADA (para la fabricación de dispositivos semiconductores o de sus partes constitutivas H01L ); APARATOS PARA ESTOS EFECTOS. › C30B 25/00 Crecimiento de monocristales por reacción química de gases reactivos, p. ej. crecimiento por depósito químico en fase vapor. › Medios de introducción y evacuación de gases; Modificación de la corriente de gases reactivos.
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