METODO Y APARATO PARA EL CONTROL DE PRESION EN PROCESADORES A VACIO.
Un método para controlar la presión en una cámara de procesado que ha sido sometida a evacuación (106),
que comprende los pasos de: recuperar de la memoria electrónica (190) un valor deseado de la presión que refleje un nivel de presión deseado para la cámara de procesado; recuperar de la memoria electrónica un valor deseado del flujo de gas que represente un caudal de gas deseado a través de la cámara de procesado; situar en posición una válvula de estrangulación (124) en una posición inicial, la válvula de estrangulación usada para controlar la presión en la cámara de procesado; medir la presión dentro de la cámara de procesado; calcular una diferencia entre la presión deseada y la presión medida; y a continuación de dicho paso de colocar en posición, modificar la posición de la válvula de estrangulación al menos una vez sobre la base de la diferencia entre la presión deseada y la presión medida caracterizado porque: dicha modificación de la posición se efectúa usando control proporcional y control integral, siendo retardado el control integral en lo correspondiente a un período de tiempo predeterminado.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: LAM RESEARCH CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 4650 CUSHING PARKWAY,FREMONT, CA 94538.
Inventor/es: BARNES, MICHAEL, KAVEH, FARRO F., MCMILLIN, BRIAN, K.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 30 de Marzo de 1999.
Fecha Concesión Europea: 14 de Mayo de 2003.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G05D16/20 FISICA. › G05 CONTROL; REGULACION. › G05D SISTEMAS DE CONTROL O DE REGULACION DE VARIABLES NO ELECTRICAS (para la colada continua de metales B22D 11/16; dispositivos obturadores en sí F16K; evaluación de variables no eléctricas, ver las subclases apropiadas de G01; para la regulación de variables eléctricas o magnéticas G05F). › G05D 16/00 Control de la presión de un fluido. › caracterizado por la utilización de medios eléctricos.
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Países Bajos, Suecia, Irlanda, Finlandia, Oficina Europea de Patentes.
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