EVAPORADOR DE ARCO CON GUIA MAGNETICA INTENSA PARA BLANCOS DE SUPERFICIE AMPLIA.

Incorporando un ánodo (1) y un cátodo o blanco (2), del que se obtiene el material evaporado que va a ser suministrado a la pieza a recubrir

(10) en el seno de una cámara de vacío, y donde con una guía magnética se intenta que la acción del arco eléctrico sobre el blanco se desplace sobre toda la superficie del mismo, de forma homogénea, la citada guía magnética está constituida mediante dos sistemas magnéticos independientes, un primer sistema magnético constituido por un conjunto de imanes permanentes (3) situados en la periferia del cátodo o blanco (2), en disposición sensiblemente coplanaria con el mismo, de manera que su imantación es perpendicular a la superficie de dicho blanco (2), y un segundo sistema magnético constituido por un electroimán (4-5), situado en la parte posterior del blanco (2), alojado en el cuerpo eléctricamente aislante (6) del evaporador y a cierta distancia de dicho blanco (2), con al menos uno de sus polos magnéticos paralelo a la superficie de dicho blanco (2), de manera que la acción combinada de los dos sistemas magnéticos determina un uso o consumo uniforme del blanco (2), a la vez que un aumento en la fiabilidad del evaporador.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: FUNDACION TEKNIKER.

Nacionalidad solicitante: España.

Provincia: GUIPÚZCOA.

Inventor/es: GOIKOETXEA LARRINAGA, JOSU.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 27 de Marzo de 2001.

Fecha Concesión Europea: 22 de Septiembre de 2004.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/35 (por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania, Armenia, Azerbayán, Bielorusia, Ghana, Gambia, Kenya, Kirguistán, Kazajstán, Lesotho, República del Moldova, Malawi, Mozambique, Federación de Rusia, Sudán, Sierra Leona, Tayikistán, Turkmenistán, República Unida de Tanzania, Uganda, Zimbabwe, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia, Guinea-Bissau, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, Organización Eurasiática de Patentes.

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EVAPORADOR DE ARCO CON GUIA MAGNETICA INTENSA PARA BLANCOS DE SUPERFICIE AMPLIA.