(16/09/2002). Ver ilustración. Solicitante/s: EATON CORPORATION. Inventor/es: BENVENISTE, VICTOR MAURICE.

SE DESCRIBE UNA PLACA DE FILAMENTO PARA UN CONJUNTO DE FUENTE DE HACES DE IONES PARA UN APARATO DE IMPLANTACION DE IONES. LA PLACA DE FILAMENTO ESTA FORMADA DE TUNGSTENO E INCLUYE DOS RANURAS SEPARADAS EN ESPIRAL QUE LLEGAN A CIERTA PROFUNDIDAD DE LA PLACA. LA SEPARACION ENTRE LAS RANURAS NO ES MUY SUPERIOR A DIEZ VECES LA LONGITUD DE UN PLASMA DEBYE DE IONES GENERADOS POR ELECTRONES EMITIDOS EN UNA CAMARA DE ARCO . EL FILAMENTO DE LA PLACA ESTA DISPUESTO EN UNA CAMARA DE ARCO EN LA QUE SE INYECTAN MATERIALES FUENTE IONIZABLES. LA PLACA INCLUYE DOS POSTES CONDUCTORES ENCAJADOS A PRESION EN SENDAS ABERTURAS DE LA PLACA PARA CALENTARLA HASTA LA TEMPERATURA DE EMISION TERMOIONICA. LOS POSTES CONDUCTORES SE EXTIENDEN A TRAVES DE ABERTURAS AISLADAS DE UNA PARED LATERAL DE LA CAMARA DE ARCO.