ACELERÓMETRO DE RESORTE ELECTROSTÁTICO INESTABLE.

(31/05/2012). Ver ilustración. Solicitante/s: BAOLAB MICROSYSTEMS SL. Inventor/es: FERNANDEZ MARTINEZ,DANIEL, MONTANYÀ Silvestre,Josep I.

Los sistemas y métodos que aquí se describen acometen las deficiencias de la técnica anterior al permitir la fabricación y el uso de acelerómetros, ya estén basados en MEMS, ya estén basados en NEMS, ya se basen en CMOS-MEMS, en el mismo dado o placa de circuito integrado que un chip de CMOS. En una realización, el acelerómetro se fabrica sobre el mismo dado o placa de circuito integrado que un chip de CMOS, utilizando un procedimiento de fabricación de CMOS típico.