(16/01/1997). Solicitante/s: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT. Inventor/es: STURMER, JOHANN, LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR., THORN, GERNOT, DIPL.-ING.

LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO PARA IMPEDIR DESCARGAS EN INSTALACIONES DE PULVERIZACION AL VACIO. ESTE DISPOSITIVO CONTIENE UN GENERADOR DE IMPULSOS , EL CUAL LLEVA EL CATODO DE LA INSTALACION DE PULVERIZACION A INTERVALOS PREFIJADOS A POTENCIAL POSITIVO, POR LO CUAL TIENE LUGAR UNA DESCARGA DE CAPAS SOBRE UN BLANCO . ESTA DESCARGA IMPIDE LA FORMACION DE TENSIONES ELEVADAS QUE PUEDEN CONDUCIR A UNA DESCARGA.

(16/12/1996). Solicitante/s: BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT. Inventor/es: KUEGLER, EDUARD, DR. DIPL.-ING.

PROCEDIMIENTO E INSTALACION PARA EL RECUBRIMIENTO DE CAPAS DE AL MENOS UN OBJETO. PARA LA PRODUCCION DE CAPAS DIELECTRICAS SE PULVERIZA CON REACTIVO UN OBJETO CONDUCTOR. LA MANTENIDA DESCARGA DE EFLUVIOS SE ALIMENTA CON CORRIENTE CONTINUA Y CORRIENTE ALTERNA, SUPERPUESTA A LA CORRIENTE CONTINUA. POR MEDIO DE UN CIRCUITO DE REGULACION SE ESTABILIZA EL PUNTO DE TRABAJO DEL PROCESO EN EL POR SI INESTABLE MODO DE TRANSFERENCIA. SE CONSIGUE UN ALTO RENDIMIENTO EN EL RECUBRIMIENTO DE CAPAS CON UN ALTO GRADO DE REACCION DE LA CAPA APLICADA.

(16/10/1996). Solicitante/s: APPLIED MATERIALS, INC.. Inventor/es: TEPMAN, AVI, PARKER, NORMAN WILLIAM.

UN SISTEMA DE PULVERIZACION TIENE UNA FUENTE DE PULVERIZACION DE MAGNETRONES PLANAS QUE TIENE UN PAR DE PIEZAS POLARES CONFIGURADAS PARA PRODUCIR UN RECUBRIMIENTO UNIFORME, UNA COBERTURA DEL ESCALON EXCELENTE Y UNA UNIFORMIDAD DE COBERTURA DEL ESCALON EXCELENTE DE UNA PLAQUITA . ENTRE LAS DOS PIEZAS POLARES HAY UN HUECO DENTRO DEL CUAL EL CAMPO MAGNETICO Y EL CAMPO ELECTRICO PRODUCEN UNA TRAMPA DE ELECTRONES. LA FORMA DEL HUECO PRODUCE UNA PROFUNDIDAD DE PERFIL PULVERIZADOR EN EL BLANCO QUE DA COMO RESULTADO UN RECUBRIMIENTO UNIFORME, UNA COBERTURA DEL ESCALON EXCELENTE Y UNA UNIFORMIDAD DE COBERTURA DEL ESCALON EXCELENTE. LA PIEZA POLAR EXTERIOR TIENE FORMA DE TAZON EN SECCION TRANSVERSAL CON UN REBORDE SUSTANCIALMENTE COPLANAR CON UNA PIEZA POLAR INTERIOR PLANAR.

(01/06/1995). Solicitante/s: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT. Inventor/es: LUBBEHUSEN, MICHAEL, DR.

SE DESCRIBE UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS PARA INSTALACION DE PULVERIZACION DE CATODO, CON UN OBJETIVO DE FORMA PLANA DE GRANDES DIMENSIONES, SOBRE EL CUAL EL MATERIAL A DESPRENDER ESTA DISPUESTO EN UNA PISTA, FORMANDO UNA ZONA CERRADA, Y CON UNA DISPOSICION DE IMAN, QUE GENERA UN CAMPO MAGNETICO, CUYAS LINEAS DE CAMPO EN FORMA DE ARCO CUBREN EL OBJETIVO EN FORMA DE PISTA EN DIRECCION TRANSVERSAL. LA INVENCION SE CARACTERIZA PORQUE, AL MENOS SE HA PREVISTO DE UNA SEGUNDA ZONA CERRADA, QUE ESTA CONFIGURADA CON MATERIAL A DESMONTAR SEGUN UNA DISPOSICION EN FORMA DE PISTA, Y A LA QUE RODEA LA PRIMERA ZONA CERRADA, Y QUE LA PISTA DE LA PRIMERA Y LA PISTA DE LA SEGUNDA ZONA CERRADA ESTAN AISLADAS RESPECTIVAMENTE UNA DE OTRA DE FORMA ELECTRICA.

(16/12/1994). Solicitante/s: LEYENDECKER, TONI. Inventor/es: ESSER, STEFAN, LEMMER, OLIVER, LEYENDECKER, TONI.

LA INVENCION SE REFIERE A UN APARATO PARA RECUBRIR SUSTRATOS POR PULVERIZACION CATODICA, Y SE CARACTERIZA PORQUE: EL ANODO SE CONFORMA DE MODO PARTICULAR; LA SUPERFICIE ACTIVA DEL ANODO SE DELIMITA CON AYUDA DE UN DIAFRAGMA QUE CONDUCE METALICAMENTE AL SUSTRATO Y SE UNE CON EL INTERIOR DE LA CAMARA Y PRESENTA UN POTENCIAL DETERMINADO; Y LA SUPERFICIE EFECTIVA DEL ANODO SE COORDINA CON EL RENDIMIENTO DEL CATODO, PARA PRODUCIR UNA ELEVADA Y OPTIMA CONCENTRACION DE IONES DENTRO DE LA CAMARA QUE DA LUGAR A UNA BUENA ADHERENCIA DEL RECUBRIMIENTO EN TODAS LAS ZONAS QUE SE RECUBREN PRIMERAMENTE A TRAVES DE UN MOVIMIENTO DEL CATODO O DEL SUSTRATO EN UN TIEMPO RETARDADO.

(16/12/1994). Solicitante/s: SAINT GOBAIN VITRAGE INTERNATIONAL GLACERIES SAINT ROCH. Inventor/es: BEAUFAYS, JEAN-PIERRE, DEVIGNE, ROLAND.

LA INVENCION SE REFIERE A UNA INSTALACION DE REVESTIMIENTO DE SUSTRATOS POR PULVERIZACION EN VACIO. EL CATODO DE ESTA INSTALACION COMPRENDE EN PARTICULAR UN PAR DE ELECTRODOS DISPUESTOS A LA ALTURA DEL SUSTRATO Y PIEZAS POLARES ASIMETRICAS , CUYA CONFIGURACION FAVORECE LA EYECCION CONTROLADA DE ELECTRONES ENERGETICOS EN DIRECCION DE LOS SUSTRATOS , LO QUE FAVORECE LA CALIDAD DEL DEPOSITO, Y MAS ESPECIALMENTE LA FORMACION DE COMPUESTOS CUANDO SE TRABAJA EN ATMOSFERA REACTIVA. LA INVENCION SE ADAPTA MAS ESPECIALMENTE A LA FORMACION DE CAPAS FINAS DE SUSTANCIAS COMPUESTAS SOBRE SUSTRATOS DE GRANDES DIMENSIONES, TALES COMO LAMINAS DE VIDRIO.

(16/12/1994). Solicitante/s: SAINT-GOBAIN VITRAGE INTERNATIONAL. Inventor/es: BEAUFAYS, JEAN-PIERRE, DEVIGNE, ROLAND.

LA INVENCION SE REFIERE A LOS CATODOS PARA LA PULVERIZACION AL VACIO. EL CATODO, SEGUN LA INVENCION, COMPRENDE UNA ESTRUCTURA HUECA QUE PUEDE GIRAR ALREDEDOR DE SU EJE, Y UN CIRCUITO DE CONFINAMIENTO MAGNETICO DISPUESTO PERIFERICAMENTE ALREDEDOR DE ESTA ESTRUCTURA. EL CATODO, SEGUN LA INVENCION, ESTA PARTICULARMENTE ADAPTADO PARA UNA EVACUACION RAPIDA DE LA ENERGIA TERMICA LIBERADA POR EL PROCESO DE PULVERIZACION, Y EN PARTICULAR PARA LA PULVERIZACION DE METALES CON PUNTO DE FUSION BAJO.

(16/03/1994). Solicitante/s: DOS SANTOS PEREIRA RIBEIRO, CARLOS ANTONIO, DIPL.-ING. Inventor/es: DOS SANTOS PEREIRA RIBEIRO, CARLOS ANTONIO, DIPL.-ING.

MAQUETON DE CATODO DE PULVERIZACION QUE EN SU PARTE DELANTERA CONTACTAN UNOS CUERPOS PORTADORES EN FORMA DE PLACAS CON EL ANODO Y EN LA PARTE TRASERA CONTACTAN CON CUERPOS PORTADORES CON UN SISTEMA MAGNETICO PERMANENTE EN FORMA DE PLACA. EL SISTEMA MAGNETICO PERMANENTE INTERIORMENTE DISPONE DE UNOS POLOS MAGNETICOS EN FORMA DE VIGA EXTENDIDOS A LO LARGO DE LA LINEA CENTRAL, DOTADOS CON UNAS LENGUETAS DE POLO CON SALIENTES EXTERIORES SEPARADOS A UNA DISTANCIA UNIFORME, Y EXTERIORMENTE DE UNOS POLOS MAGNETICOS RECTANGULARES O CUADRADOS CON UNAS LENGUETAS DE POLO LATERALES SITUADAS FRONTALMENTE A LOS POLOS MAGNETICOS INTERIORES Y EN FORMA DE VIGA QUE DESCANSAN ENTRE CADA DOS LENGUETAS DE POLO , PRESENTAN Y GENERAN UN CAMPO MAGNETICO MEANDRICO QUE SE EXTIENDE TOTAL Y HOMOGENEAMENTE SOBRE LA SUPERFICIE DEL ANODO.

(16/10/1992). Solicitante/s: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT. Inventor/es: KIESER, JORG, DIPL.-PHYS., SELLSCHOPP, MICHAEL, DR. DIPL.-PHYS., GEISLER, MICHAEL DR. DIPL.-PHYS.

DISPOSITIVOS PARA LA MANIPULACION DE PLASMA DE SUSTRATOS EN UNA DESCARGA DE PLASMA ACTIVADA POR ALTA FRECUENCIA ENTRE DOS ELECTRODOS ABASTECIDOS POR UNA FUENTE DE ALTA FRECUENCIA . EL PRIMER ELECTRODO ESTA CONSTRUIDO COMO UN ANODO HUECO , Y EL SEGUNDO ELECTRODO , PORTADOR DEL SUSTRATO , ESTA SITUADO EN LA CAMARA HUECA DEL ANODO HUECO O POR DELANTE. ADEMAS EL ANODO HUECO MUESTRA UN BORDE ABIERTO EN DIRECCION AL SEGUNDO ELECTRODO QUE FORMA UNA HENDIDURA S1 DE UN MAXIMO DE 10 MM. DE ANCHURA FRENTE AL SEGUNDO ELECTRODO. PARA COLOCAR EL ANODO HUECO SIN CRITICA CON RESPECTO A LA ANCHURA DE LA HENDIDURA, SE HAN COLOCADO SALIDIZOS EN LA CAMARA HUECA DEL ANODO , QUE AUMENTAN LA SUPERFICIE INTERIOR. ESTOS SALIDIZOS ESTAN CONSTRUIDOS ESENCIALMENTE COMO ESTRUCTURA DE NERVADURA QUE PUEDE TOMAR LA FORMA DE ALVEOLO.

(01/02/1990). Solicitante/s: S.A. GLACERIES DE SAINT-ROCH. Inventor/es: DEVIGNE, ROLAND, VRANKEN, JEAN-PAUL.

EL INVENTO SE REFIERE A UN CATODO DESTINADO A LA PULVERIZACION DE CAPAS DELGADAS DE MATERIALES SOBRE UNO O VARIOS SUBSTRADOS SIGUIENDO LA TECNICA DE PULVERIZACION CATODICA. ESTA CONSTITUIDO POR UNA ESTRUCTURA (EN V) QUE CONSTA DE UNA ALIMENTACION ELECTRICA, ELEMENTOS DE ENFRIAMIENTO Y DOS PLANOS DE PULVERIZACION EN LOS CUALES SE HALLAN DISPUESTAS, DE LADO A LADO, DOS BANDAS DE MATERIAL BLANCO QUE FORMA CON LAS BANDAS CORRESPONDIENTES EN EL OTRO PLANO UN CIRCUITO MAGNETICO UNICO, DE FORMA QUE ES POSIBLE TRATAR SIMULTANEAMENTE DOS SUBSTRATOS DISPUESTOS A AMBOS LADOS DEL CATODO SOBRE SUS SOPORTES . EL CATODO , DE ACUERDO CON EL INVENTO, ES PARTICULARMENTE IDONEO PARA EL REVESTIMIENTO DE SUBSTRADOS DE GRANDES DIMENSIONES, COMO EL VIDRIO.

(16/08/1988). Ver ilustración. Solicitante/s: WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION. Inventor/es: GLASSER, ALBERT DANIEL.

LA INVENCION SE REFIERE A UN OBJETIVO DE APARATO DE RECUBRIMIENTO POR DEPOSICION CATODICA QUE COMPRENDE UN CATODO CON MATERIAL DE OBJETIVO DE DEPOSICION DISPUESTO EN UNA CARA DEL CATODO, Y UNA PROTECCION DE MASA CON FORMA DE CAJA QUE ENCIERRA EL CATODO POR TODOS LOS LADOS, EXCEPTO EL DEL MATERIAL DE OBJETIVO, ESTANDO LA PROTECCION DE MASA Y EL CATODO AISLADOS ELECTRICAMENTE UNA DE OTRO POR UNA SEPARACION DEFINIDA ENTRE AMBOS. TIRAS PERIFERICAS ESTAN MONTADAS SOBRE UNA PORCION PERIFERICA DE BORDE DE LA SUPERFICIE DE CATODO QUE TIENE EL MATERIAL DE OBJETIVO, FORMANDO LAS TIRAS UN REBORDE PERIFERICO CONTINUO QUE SE EXTIENDE LATERALMENTE HACIA EL EXTERIOR DESDE LA SUPERFICIE DE CATODO Y SOBREVUELA LA SEPARACION Y EL BORDE ADYACENTE DE LA PARED LATERAL DE LA PROTECCION PARA IMPEDIR QUE ESCAMAS SUELTAS DE MATERIAL DE OBJETIVO LLENEN LA SEPARACION Y CREEN ASI UN CORTOCIRCUITO ENTRE EL CATODO Y LA PROTECCION DE MASA.

(16/03/1988). Ver ilustración. Solicitante/s: WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION. Inventor/es: PHIFER, CLARENCE GARY.

LA INVENCION SE REFIERE A LA EXTRACCION DE DEPOSITOS DE CORTOCIRCUITO DE CATODOS DE DEPOSICION CATODICA DISPUESTOS EN UNA CAMARA DE DEPOSICION Y PUESTA BAJO TENSION NORMALMENTE DESDE UNA FUENTE DE ENERGIA DE CORRIENTE CONTINUA LA CUAL PROPORCIONA ENERGIA SUFICIENTE COMO PARA PRODUCIR Y MANTENER UN PLASMA DE DEPOSICION CATODICA. SEGUN LA INVENCION, UN DEPOSITO DE PUESTA EN CORTOCIRCUITO ES ELIMINADO INTERRUMPIENDO PRIMERO EL SUMINISTRO DE ENERGIA DESDE LA FUENTE DE CORRIENTE CONTINUA AL CATODO PUESTO EN CORTOCIRCUITO Y APLICANDO DESPUES, DESDE UNA FUENTE DE ENERGIA AUXILIAR , ENERGIA ELECTRICA SUFICIENTE COMO PARA VAPORIZAR EL DEPOSITO DE CORTOCIRCUITO PERO INSUFICIENTE PARA ENCENDER UN PLASMA DE DEPOSICION CATODICA. LA FUENTE DE ENERGIA AUXILIAR ES DESCONECTADA Y EL SUMINISTRO DE ENERGIA DESDE LA FUENTE DE CORRIENTE CONTINUA ES REANUDADO CUANDO HA DESAPARECIDO EL DEPOSITO DE PUESTA EN CORTOCIRCUITO.

(01/08/1983). Solicitante/s: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.

INSTALACION DE PULVERIZACION IONICA. COMPRENDE UNA CAMARA CON GAS IONIZABLE A BAJA PRESION, UN ELECTRODO DE CATODO , UN ELECTRODO DE ANODO , DESTINADO A SOPORTAR UN SUBSTRATO DE PIEZA Y DISPUESTO PARA PULVERIZACION IONICA CON LA SUPERFICIE DEL ELECTRODO DE CATODO; UNA PANTALLA SEPARADA Y PUESTA A MASA QUE CIRCUNSCRIBE ESTE ELECTRODO, UNA PANTALLA FLOTANTE Y UN DISPOSITIVO PARA APLICAR UN POTENCIAL DE FUNCIONAMIENTO ENTRE CATODO Y ANODO, POR LA PULVERIZACION IONICA DE MATERIAL.

(01/02/1983). Solicitante/s: SHATTERPROFF GLASS CORPORATION.

APARATO PARA LA SUBLIMACION CATODICA DE PELICULAS DELGADAS DE UN MATERIAL DE RECUBRIMIENTO. CONSTA DE UN CATODO DE MAGNETRON QUE CONTIENE UN TUBO CILINDRICO ALARGADO CON UNA CAPA DE MATERIAL A APLICAR POR SUBLIMACION Y UN DISPOSITIVO MAGNETICO SITUADO EN EL TUBO Y QUE SE EXTIENDE LONGITUDINALMENTE AL MISMO, SIENDO ROTATORIO ALREDEDOR DE SU EJE CON RELACION AL DISPOSITIVO MAGNETICO, EL CUAL COMPRENDE UNA FORMACION DE IMANES INDIVIDUALES PERMANENTES EN FORMA DE U Y QUE, COMPRENDEN REGLETAS MAGNETICAS QUE SE EXTIENDEN LONGITUDINALMENTE EN EL TUBO; LAS SUPERFICIES DE LAS REGLETAS ENCARADAS AL TUBO, SE CONFIGURAN PARA ADAPTARSE A LA CURBATURA DE SU SUPERFICIE INTERIOR. LOS SUBSTRATOS SE TRANSPORTAN HORIZONTALMENTE A TRAVES DE LA CAMARA DE APLICACION DE RECUBRIMIENTO Y POR DEBAJO DEL CATODO.

(01/05/1978). Solicitante/s: N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN.

Resumen no disponible.

(16/12/1959). Ver ilustración. Solicitante/s: FITH STERLING INCORPORATED.

Método de electroerosión o mecanización por chispas mediante elevadas intensidades de corriente de descarga a través de un intervalo disruptivo ionizable definido entre una pieza a trabajar conductiva y una herramienta-electrodoque comprende las etapas reiterativas de cargar un condensador de almacenamiento de energía a una diferencia de potencial relativamente alta y conectar dicho condensador al intervalo disruptivo; caracterizado dicho método por el hecho de que el condensador de almacenamiento de energía se conecta al intervalo disruptivo solamente después de haberse ionizado este intervaloaplicándose al intervalo un impulso piloto de relativamente baja tensión para ionizar el intervalo por descarga disruptiva cuando la separación de intervalo tiene un valor intermedio entre los límites de cortocircuito y circuito abierto.