Películas finas preparadas con una técnica de deposición en fase gaseosa.

(12/11/2019) Proceso para la preparación de una película fina de una naturaleza orgánica-inorgánica en un sustrato mediante una técnica de deposición en fase gaseosa producida por ALCVD, caracterizado por comprender las siguientes etapas: a) - poner en contacto el sustrato con un pulso de un precursor inorgánico seleccionado de un grupo que consiste en alquilos metálicos y halogenuros metálicos donde el metal se selecciona del grupo que consiste en Al, Si, Sn, Zn, Mg, Ti, Zr, V, Mn, Fe, Co, Cr, y Pt; b) - hacer reaccionar el precursor inorgánico con al menos una superficie del sustrato; c) - eliminar el precursor inorgánico sin reaccionar y subproductos de reacción si hay alguno; d) - poner en contacto la superficie de dicho sustrato con un pulso de un precursor orgánico; donde el precursor orgánico es un compuesto orgánicos sustituido…