METODO PARA FABRICAR UN DISPOSITIVO SEMICONDUCTOR LATERAL.

(10/11/2009). Ver ilustración. Solicitante/s: QINETIQ LIMITED. Inventor/es: NASH,GEOFFREY RICHARD,QINETIQ LIMITED, JEFFERSON,JOHN HENRY,QINETIQ LIMITED, NASH,KEITH,JAMES.

Un método para fabricar un dispositivo semiconductor que comprende las etapas de (i) tomar una estructura semiconductora que tiene una pila formada por un pluralidad de capas de material semiconductor dispuestas en una serie de planos sustancialmente paralelos, teniendo el material semiconductor dentro una primera capa un exceso de portadores de carga de una primera polaridad en una primera concentración, y (ii) retirar selectivamente el material conductor de la primera capa hasta una profundidad que varía a lo largo de una primera dirección sustancialmente paralela a los planos de las capas dentro de la estructura, de manera que se proporciona una gradación de la concentración de portadores de carga de primera polaridad dentro de una capa activa a lo largo de la primera dirección.