Análisis de señales de interferometría de baja coherencia para estructuras de película delgada.
Método para determinar el espesor de una película delgada en función de mediciones interferométricas de baja coherencia,
que comprende:
proporcionar una señal de interferometría de exploración producida por un interferómetro de exploración de baja coherencia para una primera ubicación de un objeto de prueba, en donde el objeto de prueba comprende una película delgada;
proporcionar una función modelo de la señal de interferometría de exploración producida por el interferómetro de exploración, en donde la función modelo se parametriza mediante uno o más valores de los parámetros;
ajustar la función modelo a la señal de interferometría de exploración para cada uno de una serie de desplazamientos en la posición de exploración entre la función modelo y la señal de interferometría de exploración mediante la variación de los valores de los parámetros, en donde el ajuste comprende, para la primera ubicación, la determinación de un primer desplazamiento de la serie de desplazamientos de la posición de exploración que corresponde a un primer ajuste óptimo y la determinación de un segundo desplazamiento de la serie de desplazamientos de la posición de exploración que corresponde a un segundo ajuste óptimo; y
determinar la información sobre el objeto de prueba en la primera ubicación en función del ajuste, en donde la información determinante comprende la determinación del espesor de la película delgada en función de los desplazamientos primero y segundo en la posición de exploración para la primera ubicación.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2006/019350.
Solicitante: ZYGO CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.
Inventor/es: DE GROOT,PETER.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- G01B9/02 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01B MEDIDA DE LA LONGITUD, ESPESOR O DIMENSIONES LINEALES ANALOGAS; MEDIDA DE ANGULOS; MEDIDA DE AREAS; MEDIDA DE IRREGULARIDADES DE SUPERFICIES O CONTORNOS. › G01B 9/00 Instrumentos según se especifica en los subgrupos y caracterizados por la utilización de medios de medida ópticos (disposiciones para la medida de parámetros particulares G01B 11/00). › Interferómetros.
PDF original: ES-2749378_T3.pdf
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