Herramienta con recubrimiento CVD.

Procedimiento para la fabricación de una herramienta con un cuerpo base de metal duro,

cermet, cerámica, acero o acero rápido y un recubrimiento de protección contra el desgaste de una o múltiples capas aplicado sobre este en procedimiento CVD, en el cual el recubrimiento de protección contra el desgaste presenta al menos una capa de Ti1- xAlxCyN2 con coeficientes estequiométricos 0,70 ≤ x < 1, 0 ≤ y < 0,25 y 0,75 ≤ z < 1,15 y con un espesor comprendido en el intervalo de 1 μm a 25 μm, y en el cual para la fabricación de la capa de Ti1-xAlxCyN2

a) los cuerpos que han de ser recubiertos se colocan en un reactor CVD sustancialmente cilíndrico que para someter los cuerpos que han de ser recubiertos al flujo de los gases de proceso está concebido en un sentido sustancialmente radial con respecto al eje longitudinal del reactor,

b) se ponen a disposición dos mezclas de gases precursores (VG1) y (VG2), conteniendo la primera mezcla de gases precursores (VG1) 0,005% a 0,2% en vol. de TiCl4,

0,025% a 0,5% en vol. de AlCl3 y

como gas portador, hidrógeno (H2) o una mezcla de hidrógeno y nitrógeno (H2/N2) y

conteniendo la segunda mezcla de gases precursores (VG2)

0,1 a 3,0 % en vol. de al menos un donador de N, seleccionado entre amoniaco (NH3) e hidracina (N2/N4), y

como gas portador, hidrógeno (H2) o una mezcla de hidrógeno y nitrógeno (H2/N2),

y conteniendo la primera mezcla de gases precursores (VG1) y/o la segunda mezcla de gases precursores (VG2) eventualmente un donador de C, seleccionado de entre acetonitrilo (CH3CN), etano (C2H6), eteno (C2H4) y etina (C2H2) y mezclas de estos, estando comprendida la parte en % en vol. total de donador de N y donador de C en las mezclas de gases precursores (VG1, VG2) en el intervalo de 0,1 a 3,0% en vol.,

c) las dos mezclas de gases precursores (VG1, VG2) se mantienen separadas antes de su entrada a la zona de reacción y se introducen en el reactor CVD a una temperatura de proceso en el reactor CVD comprendida en el intervalo de 600 ºC a 850 ºC y una presión de proceso en el reactor CVD comprendida en el intervalo de 0,2, a 18 kPa, sustancialmente radialmente con respecto al eje longitudinal del reactor,

siendo inferior a 1,5 la relación de las corrientes de gas volumétricas (V) de las mezclas de gases precursores (VG1, VG2) V (VG1) / V (VG2).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2014/057720.

Solicitante: WALTER AG.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: DERENDINGER STRASSE 53 72072 TÜBINGEN ALEMANIA.

Inventor/es: RUPPI, SAKARI, STIENS,DIRK, MANNS,THORSTEN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C16/34 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Nitruros.
  • C23C16/455 C23C 16/00 […] › caracterizado por el proceso utilizado para introducir gases en la cámara de reacción o para modificar las corrientes de gas en la cámara a reacción.

PDF original: ES-2684410_T3.pdf

 

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