Procedimiento de depósito de capas sobre un sustrato de vidrio por PECVD de baja presión.

Procedimiento de producción de películas de óxidos, de nitruros o de oxinitruros de metales o semi-conductores sobre un sustrato,

mediante el método de PECVD que comprende las etapas que consisten en:

a) proveerse de un dispositivo de PECVD, a baja presión, que comprende al menos una fuente de doble haz lineal de plasma, la cual comprende al menos dos electrodos unidos a un generador AC o DC pulsado, para el depósito de dichas películas sobre el sustrato,

b) aplicar una potencia eléctrica entre los dos electrones de tal manera que la densidad de potencia del plasma esté comprendida entre 5 y 50 W por cm2 de plasma, y,

c) aplicar sobre el sustrato un precursor gaseoso de películas de óxidos, de nitruros o de oxinitruros de metales o semi-conductores a un caudal comprendido entre 100 y 500 sccm por metro lineal de la fuente de plasma, y un gas reactivo a base de oxígeno o de derivados oxigenados o de derivados nitrogenados a un caudal comprendido entre 500 y 20000 sccm por metro lineal de la fuente de plasma.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/059734.

Solicitante: AGC GLASS EUROPE.

Nacionalidad solicitante: Bélgica.

Dirección: Avenue Jean Monnet 4 1348 Louvain-la-Neuve BELGICA.

Inventor/es: TIXHON, ERIC, MAHIEU,STIJN, WIAME,HUGUES, VAN STUYVENBERG,MARTIN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C03C17/00 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C03 VIDRIO; LANA MINERAL O DE ESCORIA.C03C COMPOSICION QUIMICA DE LOS VIDRIOS, VIDRIADOS O ESMALTES VITREOS; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DEL VIDRIO; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DE FIBRAS O FILAMENTOS DE VIDRIO, SUSTANCIAS INORGANICAS O ESCORIAS; UNION DE VIDRIO A VIDRIO O A OTROS MATERIALES.Tratamiento de la superficie del vidrio, p. ej., de vidrio desvitrificado, que no sea en forma de fibras o filamentos, por recubrimiento.
  • C03C17/36 C03C […] › C03C 17/00 Tratamiento de la superficie del vidrio, p. ej., de vidrio desvitrificado, que no sea en forma de fibras o filamentos, por recubrimiento. › siendo un revestimiento al menos un metal.
  • C23C16/34 C […] › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Nitruros.
  • C23C16/40 C23C 16/00 […] › Oxidos.
  • C23C16/503 C23C 16/00 […] › utilizando descargas con corriente continua o alterna.

PDF original: ES-2724224_T3.pdf

 

Patentes similares o relacionadas:

Imagen de 'Acristalamiento usado como un elemento constitutivo de un dispositivo…'Acristalamiento usado como un elemento constitutivo de un dispositivo de calentamiento, del 29 de Abril de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Dispositivo de calentamiento que comprende medios de calentamiento y un recinto delimitado por una o varias paredes, del que al menos una […]

Sustrato que lleva un recubrimiento funcional y una capa de protección temporal, del 1 de Abril de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Artículo que comprende un sustrato que comprende dos caras principales que definen dos superficies principales separadas por bordes, llevando dicho sustrato: - un recubrimiento […]

Lámina de vidrio con esmalte reflectante de la radiación infrarroja, del 25 de Marzo de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Lámina de vidrio que comprende un sustrato de vidrio mineral templado que lleva, sobre una de sus caras, un revestimiento transparente de baja […]

Procedimiento de impresión de esmalte para un acristalamiento laminado con capas funcionales, del 4 de Marzo de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Procedimiento de fabricación de un vidrio laminado para un vehículo automóvil que comprende al menos una primera hoja de vidrio en contacto con el exterior del vehículo, una […]

Acristalamiento antisolar, del 26 de Febrero de 2020, de AGC GLASS EUROPE: Acristalamiento transparente de control solar que comprende, sobre al menos una de las caras de un sustrato de vidrio, un apilamiento multicapas transparente que comprende […]

Recubrimiento de plata de ultra baja emisividad (ultra baja E), del 19 de Febrero de 2020, de FERRO CORPORATION: Una composición absorbente de infrarrojos, cuya parte seca comprende, antes de la cocción: a. del 65 al 93 % en peso de un componente de plata, […]

Artículo reflectante que tiene una capa catódica de sacrificio, del 12 de Febrero de 2020, de Vitro Flat Glass LLC: Un artículo reflectante que comprende: un sustrato transparente que tiene una primera superficie principal y una segunda superficie […]

Acristalamiento de control solar que comprende dos capas metálicas a base de níquel, del 22 de Enero de 2020, de SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE: Acristalamiento con propiedad de control solar que comprende al menos un sustrato de vidrio provisto de un apilamiento de capas, caracterizándose dicho […]

Utilizamos cookies para mejorar nuestros servicios y mostrarle publicidad relevante. Si continua navegando, consideramos que acepta su uso. Puede obtener más información aquí. .