Procedimiento de pulverización catódica de barrido lineal.

Procedimiento para procesar un sustrato mediante pulverización catódica,

que comprende:

colocar una pluralidad de sustratos sobre un transportador;

manejar el transportador de forma que transporte la pluralidad de sustratos a una velocidad constante y en una orientación hacia una diana, de forma que a cualquier tiempo dado, varios sustratos están orientados hacia la diana entre el borde de ataque y el borde de salida;

barrer de forma recíproca una disposición de imanes detrás de la diana al tiempo que sostiene el plasma en un espacio entre la diana y los sustratos, en el que la etapa de barrer de forma recíproca la disposición de imanes se realiza a una velocidad que es, como mínimo, varias veces más rápida que la velocidad constante del transportador, caracterizado por

definir zonas de rotación detrás del borde de ataque y el borde de salida de la diana e invertir el barrido recíproco de la disposición de imanes a puntos diferentes dentro de las zonas de rotación durante barridos diferentes.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/US2012/063432.

Solicitante: INTEVAC, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 3560 Bassett Street Santa Clara, CA 95054.

Inventor/es: SHAH, VINAY, BROWN,DAVID WARD, PEDERSON,TERRY, BLUCK,TERRY.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/35 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.

PDF original: ES-2637391_T3.pdf

 

  • Fb
  • Twitter
  • G+
  • 📞

Patentes similares o relacionadas:

BLANCO SÓLIDO DE GASES NOBLES PARA REACCIONES NUCLEARES, del 7 de Diciembre de 2017, de CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC): Constituye un objeto de la presente invención un blanco sólido de gases nobles para reacciones nucleares que comprende una película porosa de un material […]

Técnicas de deposición de revestimientos de óxido conductor transparente utilizando aparatos de pulverización catódica C-MAG doble, del 8 de Noviembre de 2017, de Guardian Europe S.à.r.l: Un método de fabricación de un artículo recubierto, comprendiendo el método: proporcionar un artículo a recubrir; proporcionar un aparato […]

Ánodo para revestimiento por pulverización, del 29 de Marzo de 2017, de Viavi Solutions Inc: Un dispositivo de pulverización para usarlo en la pulverización de un material, que comprende un ánodo y una cámara de revestimiento que contiene un cátodo y un […]

Aparato para recubrimiento de placas de impresión calcográfica, del 14 de Diciembre de 2016, de KBA-NOTASYS SA: Un aparato para recubrimiento de placas de impresión calcográfica que comprende: - una cámara de vacío que posee un espacio interno […]

Bloque de extremo para diana giratoria con conexión eléctrica entre colector y rotor a presión inferior a la presión atmosférica, del 23 de Noviembre de 2016, de Guardian Europe S.à.r.l: Un aparato de pulverización catódica que comprende: una diana de pulverización catódica cilíndrica giratoria ; al menos un bloque […]

Fuentes de pulverización catódica a alta presión con blancos grandes y procedimiento de pulverización catódica, del 5 de Octubre de 2016, de FORSCHUNGSZENTRUM JULICH GMBH: Cabezal de pulverización catódica con un alojamiento para un blanco de pulverización catódica y una o varias fuentes de campo magnético para generar un campo de dispersión […]

Aparato de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón y método de deposición de material con el mismo, del 5 de Octubre de 2016, de Mustang Vacuum Systems, Inc: Un aparato de cátodo rotativo para pulverización por magnetrón que comprende una fuente de alimentación de radiofrecuencia, un conjunto […]

DISPOSITIVO MAGNETRON Y PROCEDIMIENTO DE EROSION UNIFORME DE UN BLANCO EMPLEANDO DICHO DISPOSITIVO, del 30 de Diciembre de 2011, de CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC): Dispositivo magnetrón y procedimiento de erosión uniforme de un blanco.El dispositivo incorpora una disposición particular de unos imanes que generan un campo […]

‹‹ Procedimiento para la fabricación de dihalodifenilsulfonas partiendo de ácidos orgánicos

Implante ortopédico de hombro modular inverso que tiene un componente de metagleno con una tapa de bloqueo de tornillo ››