APARATO Y MÉTODO PARA DEPÓSITO QUÍMICO EN FASE VAPOR CON HILO CALIENTE.
Aparato y método para depósito químico en fase vapor con hilo caliente El aparato y método para HWCVD comprende una cámara de vacío;
al menos un filamento catalítico provisto con al menos dos contactos eléctricos; y medios para sacar de una zona de depósito una porción del filamento catalítico y para sustituirla por otra porción de filamento catalítico; donde los medios comprenden un primer carrete y un segundo carrete para cada filamento catalítico. Los segundos carretes están acoplados mecánicamente a un motor controlado en posición o velocidad. Un mecanismo de ajuste de tensión, acoplado mecánicamente a cada primer carrete, comprende al menos un muelle de fuerza constante para aplicar una fuerza de tracción que mantiene tenso el filamento catalítico en cualquier situación de funcionamiento. Además, el aparato está provisto con un dispositivo para la protección ante la degradación de al menos una de las porciones frías de los filamentos catalíticos.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/ES2012/070893.
Solicitante: UNIVERSITAT DE BARCELONA.
Nacionalidad solicitante: España.
Inventor/es: FRIGERI,Paolo Antonio, NOS AGUILA,Oriol, BERTOMEU BALAGUERÓ,Joan.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- B65H59/04 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B65 TRANSPORTE; EMBALAJE; ALMACENADO; MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES. › B65H MANIPULACION DE MATERIALES DELGADOS O FILIFORMES, p. ej. HOJAS, BANDAS, CABLES. › B65H 59/00 Regulación o control de la tensión del material filiforme, p. ej. para impedir los rizos; Utilización de indicadores de tensión (aparatos de tensión de uso general en conexión con la manipulación de bandas, cintas o materiales filiformes B65H 77/00). › por dispositivos que actúan sobre el paquete o el soporte.
- C23C16/44 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).
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